[发明专利]互补光束波面检测仪

权利要求书

1、一种互补光束波面检测仪，包括从一光源发射的光束，经一分光镜(11)分成两束光，一束光作为监视光束经一透镜L₃(10)被光电探测器D₃(12)接收；另一束光作为测量光束通过一会聚透镜L₂(9)，到光电探测D₁(2)，光电探测器D₁(2)的输出一种连接到相加电路(5)经放大电路A₂(6)到显示系统(13)，另一路连接到差分电路(3)经放大电路A₁(4)到显示系统(13)，其特征在于在测量光束的光路上，经会聚透镜L₂(9)会聚再发射后，与光电探测器D₁(2)之间置有一由一条闭合曲线为交界线(16)分成全透射光区(14)和全反射光区(15)的光束分割元件(1)，光束分割元件(1)将测量光束分割成两束光，一束光是由光束分割元件(1)中全透射光区(14)透射的光束进入光电探测器D₁(2)中，另一束是由光束分割元件(1)中全反射光区(15)反射的光束经会聚透镜L₁(8)进入光电探测器D₂(7)中，光电探测器D₂(7)的输出与光电探测器D₁(2)的输出同时连接到相加电路(5)和差分电路(3)上。

2、根据权利要求1所述的一种互补光束波面检测仪，其特征在于光束分割元件（1）将光束分割成透射光束和反射光束，这两束光在初始静态时，两光束的光通量相等;在动态过程中，两光束的光通量为互补的。

3、根据权利要求1或2所述的一种互补光束波面检测仪，其特征在于光束分割元件（1）上全透射光区（14）与全反射光区（15）之间的交界线（16）是椭圆形闭合曲线，或者是长方形闭合曲线，或者是菱形闭合曲线。