[发明专利]具有传感器的超声波负载指示件

权利要求书

1.一种制造负载指示件的方法，它包括的步骤为：

提供一个当受到应力时，其中一部分相对另一部分位移而发生变形的负载承受件，该负载承受件有一个第一表面；

其特征在于，所述第一表面可起第一电极的作用，且所述方法包括以下步骤：

直接在该第一表面上生成包含一声电薄膜的超声波传感器装置，这样以机械的、导电的和传声的方式把所述声电薄膜内连到所述第一表面。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括在所述声电薄膜的暴露的表面上形成所述超声波传感器装置的第二电极，这样以机械的、导电的方式把第二电极内连到所述声电薄膜上，并以导电的方式把所述第二电极与所述第一电极隔离。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，还包括从所述第二电极向外延伸而形成一电绝缘封装层，以覆盖所述声电薄膜的暴露表面。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述声电薄膜是通过蒸汽沉积法生成的。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述声电薄膜是通过磁控管飞溅技术生成的。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述声电薄膜所用材料是从氧化锌、硫化镉、Pb(Zr，Ti)O₃和氮化铝选取的。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述声电薄膜以一倾斜角度生成，以适于所述超声波传感器装置传送和接收纵向和横向的两个方向的超声波。

8.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述第二电极是由蒸汽沉积法形成的。

9.如权利要求2所述的方法，其特征在于，第二电极所用材料是从可导电的金属薄膜、涂料和油墨中选取的。

10.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述第二电极包括用粘结剂粘到所述声电薄膜上的金属薄片。

11.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述声电薄膜的厚度为1～50微米。

12.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述第一表面上形成声电薄膜之前，先用导电薄膜将所述第一表面覆盖。

13.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述负载承受件有一杆体，在杆的纵向端有一凹槽，在该凹槽中形成所述第一表面。

14.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一表面是这样形成的，使在所述第一表面上生成的超声波传感器装置产生的超声波射向所述负载承受件的远离所述第一表面的一端。

15.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：在所述负载承受承件上与第一表面有一预定距离处形成第二表面；

其中，所述第一表面的形成，使在所述第一表面上生成的超声波传感器装置的超声波射向所述第二表面；

其中，所述第二表面的形成，它把来自在所述第一表面上的所述超声波传感器装置的超声波反射回到在所述第一表面上的超声波传感器装置。

16.如权利要求1所述的方法，其特征在于：

所述负荷承受件包括一个有头部的紧固件，从该头部处延伸出一杆，当其受纵向应力时，杆承受变形，使其中杆一部分相对于另一部分位移，所述紧固件具有所述起第一电极作用的所述第一表面。

17.如权利要求16所述的方法，其特征在于，还包括在所述声电薄膜的暴露表面上形成超声波传感器装置的第二电极，这样以机械的、导电的方式把第二电极内连到所述声电薄膜上，以导电的方式把第一电极和第二电极隔离。

18.如权利要求17所述的方法，其特征在于，还包括从第所述第二电极向外延伸而形成的电绝缘封装层，覆盖所述声电薄膜的暴露表面。

19.如权利要求16所述的方法，其特征在于，在所述紧固件的靠近所述头部纵向的一端上形成第一表面。

20.如权利要求16所述的方法，其特征在于，在所述紧固件远离所述头部纵向的一端上形成第一表面。

21.如权利要求16所述的方法，其特征在于，所述声电薄膜是通过磁控管飞溅技术生成的。

22.如权利要求16所述的方法，其特征在于，所述声电薄膜是通过蒸汽沉积法生成的。