[实用新型]红外快速热处理设备

权利要求书

1、一种红外快速热处理设备，由红外热处理石英腔、与石英腔连通的气路及其控制装置、高频感应加热源、传送半导体片机构、测温与控温装置及微机控制系统等部分所组成，所说的红外热处理石英腔由矩型石英腔体、绕在石英腔体外的高频线圈，固定在石英腔体内的红外反射板，在反射板内的二块平行石墨板所构成，其特征在于还有一不同时开启的双门过渡腔，该过渡腔与所说的红外热处理石英腔的一端相连接，所说的气路与该过渡腔连通，还包括微机控制的自动取放片机构。

2、如权利要求1所述的设备，其特征在于所说的传送片机构由电机驱动丝杠带动在导轨上运动的小车，固定在车上的悬臂和与悬臂顶端的石英片架所组成。

3、如权利要求2所述的设备，其特征在于所说的红外热处理石英腔分为两个区域，即热处理区和予热（冷）区，所说的测温与控温装置有两个测温探头分别对准所说的热处理区和予热（冷）区。

4、如权利要求2所述的设备，其特征在于所说的双门过渡腔由腔体、与腔体两端相连接的两个阀门组成，阀门由阀门体、具有狭长通孔的阀门杆构成，阀门杆在阀体中可绕轴转动，可使过渡腔两端处于开或闭状态，过渡腔有一进气管和一出气管。

5、如权利要求3所述的设备，其特征在于所说的双门过渡腔由腔体、与腔体两端相连接的两个阀门组成，阀门由阀门体、具有狭长通孔的阀门杆构成，阀门杆在阀体中可绕轴转动，可使过渡腔两端处于开或闭状态，过渡腔有一进气管和一出气管。

6、如权利要求1、2、3、4或5所述的设备，其特征在于所说的自动取放片机构由片盒1，片盒2，承片台，吸片嘴，以及相应的驱动电机，丝杠和齿条，滑块，导轨组成。