[实用新型]一种精密自动定位装置无效
| 申请号： | 91223185.8 | 申请日： | 1991-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN2110207U | 公开（公告）日： | 1992-07-15 |
| 发明（设计）人： | 杨曙光;徐振高;陈涛;陈家璧;李柱 | 申请（专利权）人： | 华中理工大学 |
| 主分类号： | G01B21/04 | 分类号： | G01B21/04 |
| 代理公司： | 华中理工大学专利事务所 | 代理人： | 骆如碧 |
| 地址： | 430074 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 精密 自动 定位 装置 | ||
【权利要求书】：
1、一种精密自动定位装置，其特征为它由非接触式光学定位传感头、传感头运动自动定位控制器和传感头运动的驱动及执行机构三部分组成，所述非接触式光学定位传感头，通过装于其内的四个象限的光电接收器(11)与传感头运动自动定位控制器连接，该控制器内的步进电机驱动电源与步进电机(12)连接。
2、根据权利要求1所述的定位装置，其特征为非接触式光学定位传感头中包括由激光器（1）发出的激光束作为光源，经保护玻璃（2）和扩束透镜（3），由反光镜（4）反射至分光镜（5）形成相互垂直的两光束，一束光经凸透镜（8）、凹透镜（9）、柱面镜（10）进入的象限光电接收器（11），另一束光直接进入显微物镜（6）。
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