[发明专利]射流真空泵

说明书

本项发明属于真空泵，而更准确说，涉及射流真空泵。

已知一种三级油汽高真空泵，该泵含有圆柱形壳体，蒸汽导管，位于吸气级喷嘴之上的挡油器〔A.E蔡特林，“蒸汽喷射泵”，1965，动力出版社（列宁格勒），第265页〕。

在这种泵内，来自被抽容积的气体被由蒸汽导管的第一级超声速喷嘴扩散出的真空液蒸汽的超声速射流所俘获。

在该泵内，不能得到低于10^-5帕的超高度真空，此外，由于真空液蒸汽的冷凝液在低温下流入蒸发器，所以在这种泵内，要有高的能量消耗。

还已知一种射流真空泵，该泵包含带有吸气管和预真空排气管的空心壳体。吸气管将壳体空腔与被抽容积连通。该泵还会有蒸汽导管，该蒸汽导管沿泵的几何轴线装在壳体空腔内，并且包含几个具有超声速喷嘴的被抽气体的压缩级。喷嘴超声速部分的外形呈圆环形状。在泵的壳体内放置真空液的蒸发器，在蒸发器内发生真空液蒸汽，该蒸汽沿蒸汽导管向上流至超声速喷嘴。蒸汽从喷嘴扩散，俘获住被抽气体，传递给被抽气体运动脉冲，而该运动脉冲转变为进入排气管的被抽气体的升高压（GB，A，1，339，121）。

在这样的泵内，如同前面所提到的那样，由于真空液蒸汽的冷凝液在低温下流入蒸发器，所以要有高的能量消耗。

所讨论的这种泵只能用五苯醚进行工作，这样就使它的应用受到限制。

本项发明的基本任务是要研制一种射流真空泵，这种真空泵能够借助于强烈加热汇集的冷凝液，除掉溶解在真空液中的被抽气体和真空液的分解物，以使汇流入蒸发器的真空液的蒸汽冷凝液的净化得以改善。

这项任务是这样解决的，在射流真空泵内含有空心壳体，空心壳体内设置有吸气管和预真空排气管，蒸汽导管和真空液的蒸发器，吸气管连通空心壳体的空腔和被抽容积，蒸汽导管沿泵的几何轴线安置在空心壳体的空腔内，蒸汽导管至少有一只超声速喷嘴，在真空液的蒸发器内发生蒸汽，蒸汽沿蒸汽导管向上进入超声速喷嘴，而从超声速喷嘴扩散出的蒸汽俘获住被抽气体，并且传递给被抽气体运动脉冲，该运动脉冲转变为进入预真空排气管内的被抽气体的升高压，根据本项发明，在空心壳体的空腔中，于真空液蒸汽从超声速喷嘴流出的区域内安装分隔壁，该分隔壁将真空液蒸汽的流出区域与空心壳体的这样一部分空腔分开，在该部分空腔内将形成被抽气体的升高压，此外，分隔壁在上部与空心壳体具有热触点。

在空心壳体的空腔内，于分隔壁的下方安装隔离罩是适当的，该隔离罩将分隔壁与浸入真空液中蒸汽导管的一段分隔开。

在产生被抽气体升高压的那一部分空心壳体的空腔内，安装形成真空液蒸汽流的导流装置也是适当的。

从蒸发器内产生的真空液蒸汽到超声速喷嘴穿过这样一段蒸汽导管，该段蒸汽导管在对着分隔壁，并被分隔壁所遮盖的表面上做出凸肩。

分隔壁的下端可以做成圆环面外形，该圆环面外形与制作在毗邻分隔壁下端的一段蒸汽导管上的圆环表面相偶合，而分隔壁的下端可以用固定装置与蒸汽导管刚性连接。

下面用说明这项发明的实施例和附图来解释本项发明，在这些附图中：

图1，根据本项发明，用剖面表示射流真空泵的概貌图，

图2，根据本发明，用剖面表示同样的射流真空泵的一部分，该泵装有隔离罩;

图3，根据本发明，表示射流真空泵的另一实施方案;

图4，根据本发明，表示射流真空泵的又一实施方案;

图5，根据本发明，表示分隔壁的实施方案;

图6，根据本发明，表示带有固定装置的分隔壁的实施方案。

射流真空泵含有壳体1（图1），壳体上设置有吸气管2和预真空排气管4，该吸气管连通壳体1空腔3和被抽容积。在壳体1的空腔3内，沿泵的几何轴线安装蒸汽导管5，还设有真空液的蒸发器，蒸汽导管5具有超声速喷嘴6，蒸汽导管5下垂至蒸发器的容积内，而蒸发器设置有一定型式的加热装置7，例如与电压源端子8相连接的螺旋型式的加热装置（在图上未示出）。

在真空液蒸汽从超声速喷嘴6流出至壳体1空腔3的区域内，安装分隔壁9，该分隔壁将上述区域与壳体1的空腔部分10分隔开。为了构成热触点，分隔壁9在上部11与壳体1相接触。

第一级上的喷嘴6用挡帽12形成。

在分隔壁9下边安装隔离罩13（图2），该隔离罩将分隔壁与沉入真空液15中的蒸汽导管5的一段14分隔开。隔离罩在其下部设有多个穿孔16。

在壳体1的空腔部分10内，安装形成真空液蒸汽流的导流装置17（图3）。