[发明专利]射流真空泵

说明书

本项发明属于真空泵，而更准确地说，涉及射流真空泵。

已知一种三级油汽高真空泵，该泵含有圆柱形壳体，蒸汽导管，以及位于吸汽级喷嘴之上的挡油器〔A.E蔡物林，“蒸汽喷射泵”，1965，动力出版社，列宁格勒，第265页〕。

在这种泵里，来自被抽容积的气体被由蒸汽导管的第一级超声速喷嘴扩散出的真空液蒸汽的超声速射流所俘获，而气体又进一步地被输往予真空蒸汽导管。

已知这样的射流真空泵，该泵含有带吸气管和予真空排气管的空心壳体，吸气管将壳体空腔与被抽容积连通，该泵还含有蒸汽导管，该蒸汽导管沿泵的几何轴线装在壳体空腔内，并且包含几个具有超声速喷嘴的被抽气体的压缩级，喷嘴超声部分的外形呈圆环形状，在泵的壳体内放置有真空液的蒸发器，在蒸发器内产生真空液蒸汽，该蒸汽沿蒸汽导管向上流至超声速喷嘴，蒸汽从喷嘴扩散，俘获被抽气体，传递给被抽气体运动脉冲，而该运动脉冲转变为进入排气管的被抽气体的升高压。为了蒸发器的隔热，在壳体的空腔门由周围介质到蒸发器区域设置一个罩与排气导管相通（波兰A，105863）。

分析上述已知的泵，都存在着主要的缺点，情况是基本上穿过壳体进入泵周围空间的能量大多损失了。此外，由于真空液激烈的沸腾在散热表面产生真空液的分解和因为这种真空的恶化也产生同样情况或大能量消耗。

本项发明的基本任务是要研制一种射流真空泵，在该泵内借助于改变散热条件得以保证蒸发器的真空隔热。

这项任务是这样解决的，在射流真空泵内含有空心壳体，蒸汽导管和蒸发器，该空心壳体具有吸气管和予真空排气管，吸气管与被轴容积连通，蒸汽导管沿泵的几何轴线放置在空心壳体内，并且在至少一个被抽气体压缩级处具有超声速喷嘴，蒸发器含有真空液的容积和加热器，在蒸发器内产生蒸汽，该蒸汽沿蒸汽导管向上流入每一压缩级的超声速喷嘴，而从第一压缩级超声速喷嘴扩散出的蒸汽俘获住被抽气体，并且传递给被抽气体运动脉冲，该运动脉冲转变为进入预真空排气管的被抽气体的升高压，并进入设置在蒸发区间的空心壳体与空主壳体空腔形成的外壳里，以保证蒸发器与周围介质隔热，根据本发明，空腔由外壳和与空心壳体空腔连通的空心壳体形成。

在蒸汽管的内部，使空心壳体的进口区域与外壳和空心壳体形成的空腔相连通是合适的。

同样，由外壳和空心壳体形成的空腔，它用管子或在空心壳体里的环形口与空心壳体空腔的予真空区域相通也是适当的。

蒸发器的加热器所具有的热交换表面积，要比泵的进口孔的面积大并且均匀地把它配置在真空液的容积内，而在真空液的容积内设置冷却真空液的装置是适当的。

下面用本发明的实施例和附图进一步阐述说明，在这些附图中

图1，根据本发明，表示出射流真空泵的总剖面图;

图2，根据本发明，表示出这一种泵的蒸发器剖面图;

图3，根据本发明，表示另一种蒸发器的制作方案剖视图。

图4，根据本发明，表示出再一种蒸发器的制作方案剖视图。

图5，根据本发明，表示带有冷却装置的这种蒸发器的剖视图。

图6，根据本发明，表示由真空液引出带有加热器的蒸发器剖面图。

射流真空泵含有壳体1（图1），壳体上具有连通被抽容积的吸气管2和予真空排气管3。在壳体1的空腔4内，沿泵的几何轴线设置有蒸汽导管5，该蒸汽导管含有一个，二个或若干个与轴对称的被抽气体压缩级，每一压缩级都具有超声速喷嘴6。

第一压缩级喷嘴6由挡帽7和蒸汽导管5的管体8组成。它的外部轮廓呈圆环形。

最后的压缩级具有相似的超声速喷嘴6，由蒸汽导管5的壳体8所形成的，在壳体1的空腔4，蒸汽导管5的最后一压缩级形成予真空区域9，它与排出管3相连通。

本真空泵具有真空液蒸发器和加热器12，该蒸发器作为真空液10的容积，呈槽11的形式在壳体1的下部，而加热器系螺旋形的，它沉入在真空液10里，在蒸汽导管5下部的槽11里。

在壳体1的那个部分，放置在外壳13里形成加热器的槽11是做成密封的。

壳体1的外壳13之间形成空腔14，它与壳体1空腔4的进口区15的导管16相连通，槽11的底端有底17密封联接，其上端与喷嘴6的挡帽7密封联接，导管16设在蒸汽导管5的内部。

在许多情况下工艺性更好的是连通空腔14和4，例如，（图2）支管的一端是与槽11相联结，而另一端在予真空区里是自由打开的，其另一个方案是空腔14和4是通过环形缝隙19相通的（图3），在壳体1内形成蒸发器的槽11和空腔14相通。