[发明专利]超导材料及其制造方法无效
申请号: | 92103605.1 | 申请日: | 1989-02-25 |
公开(公告)号: | CN1067326A | 公开(公告)日: | 1992-12-23 |
发明(设计)人: | 糸崎秀夫;田中三郎;桧坦贤次郎;服部久雄;藤森直治;矢津修示;上代哲司 | 申请(专利权)人: | 住友电气工业株式会社 |
主分类号: | H01B12/06 | 分类号: | H01B12/06;H01L39/24;H01L39/12 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利代理部 | 代理人: | 范本国 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 超导 材料 及其 制造 方法 | ||
1、一种超导薄膜的制造方法,其特征在于:把由Tl、Ca、Ba及Cu各元素的单质粉末或至少包含这些元素之一的化合物的粉末混合而成包含所有上述元素的混合物、或烧制这种混合物后粉碎所得的烧制体粉末作为原料粉末,把主要包含至少经过对上述这种原料粉末烧结一次所得的,具有下式:
TlxCayBaCuzOa
这里,x、y、z是分别满足0.5≤X≤3.0、0.5≤y≤3.0及0.9≤z≤4.0的数
所示成份构成的复合氧化物的烧结体作为靶,用物量淀积法在基板上生长薄膜。
2、如权利要求1所述的方法,其特征在于:上述物量淀积法是溅射法或离子镀法。
3、如权利要求1和2中任一项所述的方法,其特征在于:上述x、y、z是分别满足1.5≤x≤2.5、1.5≤y≤2.5、2.5≤z≤3.5的数。
4、如权利要求1到3中任一项所述的方法,其特征在于:待使上述原料粉末成形后,再进行上述烧结处理。
5、如权利要求1所述的方法,其特征在于:上述化合物的粉末是从分别含有Ba、Ca、Tl及Cu元素的氧化物、碳酸盐、硫酸盐、硝酸盐及草酸盐中选择的。
6、如权利要求1所述的方法,其特征在于:烧制从分别含有Ba、Ca、Tl及Cu元素的氧化物、碳酸盐、硫酸盐、硝酸盐及草酸盐中选择出来的化合物粉末混合物,把粉碎所得的烧制体粉末作为原料粉末。
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