[发明专利]实时检测非球面的全息干涉装置

权利要求书

1、一种实时检测非球面的全息干涉装置，采用扩束器2、分束器3、参考平面镜4和零位补偿器5、成像透镜7、空间滤波器8、面阵探测器9，其特征在于：在光源1的两条出射光束上分别放置起偏镜15和起偏镜16，二者起偏方向成正交关系，起偏镜15或起偏镜16的起偏方向与偏振分束器10的偏振透过方向一致，利用平面镜17、分束器14使由光源1发出的二光束共轴同向传播，在分束器3的主干涉出射方向上放置偏振分束器10，实时记录显示器6的读出面面对偏振分束器10透射光束且位于与被测非球面光瞳共轭平面上，面阵探测器18的接收面面对偏振分束器10反射光束且位于与被测非球面光瞳共轭平面上，显示器12的显示面与实时记录显示器6的写入面相对且平行，成象系统11的主轴与显示器12的显示面和实时记录显示器6的写入面相互垂直，在偏振分束器10反射实时记录显示器6读出图象的光轴上安置成象透镜7，面阵探测器9的接收面位于实时记录显示器6读出面的共轭面上，面阵探测器9、面阵探测器18和显示器12与计算机13用导线相连接。

2、根据权利要求1所述的装置，其特征在于：光源1由两个不同波长的激光器组成或采用多波长激光器。