[发明专利]一种半导体扩散长度测量仪

权利要求书

1、一种半导体扩散长度测量仪，包括光源光学系统，样品架，光能探测系统，表面光电压检测与控制系统，其特征在于：

-光源光学系统由红外发光二极管(1)、激励红外发光二极管(1)的恒流脉冲发生器(2)、滤波轮(3)以及Y型光缆(4)构成，其中恒流脉冲发生器(2)的工作频率为25赫兹，且与50赫兹工频同步，红外发光二极管(1)的中心波长为9300埃～9500埃，允许脉冲电流最大值为16安培，脉冲平均光功率最大值为10毫瓦；

-恒流脉冲发生器(2)产生的脉冲其持续时间为400微秒～500微秒；

-在8500埃～10500埃波长范围内，滤波轮(3)分离出10～12个单色光，其半幅宽为140埃～200埃，光脉冲持续时间为400微秒～500微秒，该单色光由Y型光缆(4)的(4A)端通过耦合电极(5)照射到测试样品(6)的正面，由Y型光缆(4)的(4B)端耦合到PIN光电二极管(11)上。

2、根据权利要求1的测量仪，其特征在于：Y型光缆（4）两端口（4A）、（4B）的光能分配比为49∶1～64∶1。