[发明专利]溶胶型硅片抛光剂

权利要求书

1、一种溶胶型硅片抛光剂，其中含有多晶硅还原炉尾气冷凝回收液、表面羟基比添加剂，凝胶转化溶胶添加剂，稳定活化添加剂、调节PH添加剂，其特征在于各组成和含量(重量%)为：多晶硅还原炉尾气冷凝回收液99.05%～99.35%，表面羟基化添加剂0.1%～0.15%、凝胶轻化溶胶添加剂0.1%～1.0%，稳定活化添加剂0.01%～0.03%，调节PH添加剂适量。

2、按权利要求1所述的溶胶型硅片抛光剂，其特征在于最佳配方为（重量%）：多晶硅还原炉尾气冷凝回收液99.25%，表面羟基化添加剂0.125%，凝胶转化溶液添加剂0.5%，稳定活化添加剂0.025%，调节PH添加剂的量以PH值达12.5为准。

3、按权利要求1或2所述的溶胶型硅片抛光剂，其特征在于所述的多晶硅还原炉尾气冷凝回收液为超高纯四氯化硅。

4、按权利要求1或2所述的溶胶型硅片抛光剂，其特征在于所述的表面羟基化添加剂为冰乙酸。

5、按权利要求1或2所述的溶胶型硅片抛光剂，其特征在于所述的凝胶转化溶胶添加剂为氢氧化钾。

6、按权利要求1或2所述的溶胶型硅片抛光剂，其特征在于所述的稳定活化添加剂为N羟基乙基乙二胺。

7、按权利要求1或2所述的溶胶型硅片抛光剂，其特征在于所述的调节PH添加剂为3-氨基丙醇-[1]。