[发明专利]碳氟化物组合物

权利要求书

1、制备热稳定碳氟化物固体组合物的方法，其中使由含有氟和碳的化合物组成的蒸汽增能以便使该化合物裂解成碎片，并使这些碎片凝聚在一基质上以生成所述的碳氟化物固体组合物。

2、按照权利要求1的方法，其中由含有氟和碳的化合物组成的蒸汽是通过流经温度维持在约200-3000℃范围内的热灯丝上方或流过加热的炉子而达到增能的。

3、按照权利要求1的方法，其中基质温度维持在低于所述碎片的温度。

4、按照权利要求1的方法，其中含有氟和碳的化合物是在常压下温度低于约200℃能汽化的脂族、环脂族、或芳族的碳氟烃、碳氢氟烃、碳氟氯烃。

5、按照权利要求1的方法，其中含氟和碳的化合物夹带于惰性气体中以提供一种蒸汽混合物。

6、按照权利要求1的方法，其中该蒸汽是通过暴露于微波（RF）辐射或频率适于引发光解的光而达到增能的。

7、按照权利要求4的方法，其中碳氟烃是六氟代苯或四氟乙烯，碳氟化物固体组合物沉积速率约10微米/小时，总厚度范围是0.01微米至约10，000微米。

8、按照权利要求1的方法，包括额外的步骤，即从所述基质上取下在其上面所形成的碳氟化物固体组合物。

9、一种碳氟化物固体组合物，其中氟/碳比小于1。

10、一种碳氟化物固体组合物，主要由比例小于1的氟和碳组成，其与水的接触角大于聚四氟乙烯的接触角。

11、一种碳氟化物固体组合物，其形式为薄膜或涂层，与水的接触角大于100°。

12、一种碳氟化物固体组合物，由含有氟和碳的汽化化合物凝聚的碎片组成。

13、按照权利要求12的碳氟化物组合物，其中含有氟和碳的汽化化合物包括六氟代苯或四氟乙烯。