[发明专利]无触点表面定位测量监控装置

权利要求书

1、一种无触点表面定位测量监控装置，以磨床加工机械为主体，其特征在于定位测量部分由光学部分、控制电路部分及微机组成，其中光学部分有光源A、聚光镜B、物镜E组成；控制电路由Ⅰ线阵CCD驱动电路，Ⅱ线阵光电转换器件CCD，Ⅲ两级低放电路，Ⅳ电位检出电路和Ⅴ单片机8031组成。

2、按照权利要求1所述之无触点表面定位测量监控装置，其特征在于所述之光学部分光源A通过聚光透镜B，光束C照到加工件上（2）之D点反射到与透镜B互成90°的物镜E，穿过物镜E照到光电转换器件G上。

3、按照权利要求1所述之无触点表面定位测量监控装置，其特征在于控制电路由线阵CCD的驱动电路I，主振频率为2MC，分频后得到相位相反的两个0.5MC驱动信号，一个1MC的移位信号和一个时标信号。

4、按权利要求1所述之无触点表面定位测量监控装置，其特征在于控制电路为线阵光电转换器件CCDⅡ前面为驱动电路Ⅰ，输出经两级三级管放大Ⅱ，输出到电位检出电路Ⅲ，最后输出到微处理器V。