[发明专利]制造高密度喷墨印刷头系统的方法

权利要求书

1.一种制造具有一排侧壁可致动的平行通道的喷墨印刷头的方法，所述平行通道贯穿压电材料的中间体部分的厚度，所述中间体部分夹在基体部分和盖部分的相应表面之间且粘结在所述相应表面之间，所述平行通道限定在由所述中间体部分所提供的侧壁之间，所述通道与其端壁上的小孔相通；所述中间体部分上所配置的致动电极用以接收致动电压，使所述侧壁变形，使所述通道扩张和收缩，所述方法的特征在于包括下述步骤：

用插入的导电层将所述中间体部分的第一表面粘结到所述基体部分的第一表面；

形成多个贯穿所述中间体部分、所述插入的导电层和所述基体部分的一部分的总体上平行的通道，所述多个平行通道各由一对侧壁所限定，各所述侧壁的下部分是由所述主体部分形成的，上部分则是由所述中间体部分形成的，所述插入的导电层的一部分在所用的各侧壁的下部分和上部分之间提供相应的致动电极；

所述那对侧壁各包括所述中间体部分的所述第一和第二表面的区域，并限定所述通道，为所述通道提供U形致动器，所述U形致动器包括限定所述通道的所述那对侧壁的所述下部分。

2.根据权利要求1的方法，其特征在于，所述插入的导电层包括导电粘结材料。

3.根据权利要求1的方法，其特征在于，所述插入的导电层包括粘结到所述中间体部分和所述基体部分的电极金属层。

4.根据权利要求1至3任何一项的方法，其特征在于，所述中间体部分沿着总体上垂直于穿过该中间体部分的所述通道范围的方向被极化。

5.根据权利要求1至4任何一项的方法，其特征在于，所述中间体部分包括多层极化的压电材料的叠层，导电层插在所述多层叠层的相邻叠层之间，各层所述压电材料是沿总体上平行于粘结有该中间体部分的该基体部分的表面的极化方向而极化的。

6.根据权利要求5的方法，其特征在于，所述叠层具有近乎相同的厚度。

7.根据权利要求5或6的方法，其特征在于，所述中间体部分的相邻极化层沿相反方法极化。

8.根据权利要求1-7任一项的方法，其特征在于，所述通道伸入所述基体部分的量大于所述中间体部分的厚度。

9.根据权利要求1-8任一项的方法，其特征在于，所述基体部分包括压电材料。

10.根据权利要求1-9任一项的方法，其特征在于，所述平行通道是通过机切削穿过所述中间体部分和局部穿过所述基体部分而形成的。