[实用新型]固定式高精度平面扫描干涉仪

说明书

本实用新型涉及一种固定式高精度平面扫描干涉仪。

现有的扫描干涉仪，是利用一筒状压电陶瓷驱动一球面反射镜进行扫描，可得到高精细度且使用方便。但由于受球面反射镜曲率半径的限制不可能获得更大的自由光谱区而限制了其使用范围。为了克服这一缺点，有人曾利用一片状压电陶瓷驱动一平面反射镜进行扫描的方式，制成了平面扫描干涉仪，从而获得了较大的自由光谱区，但这种平面扫描干涉仪的缺点是必须对它的另一个反射镜经常进行调整，同时因片状压电陶瓷在加电压的凹凸运动中易破坏两平面反射镜的平行度故必须随时监视和调整，从而增加了使用的困难。

本发明的目的旨在提供一种新型的平面扫描干涉仪，使其既能获得更高的精细度，又具有更宽的光谱范围，且使用中不需要再作调整。

本发明的技术方案是反射镜［6］为两片反射面相互平行的平面反射镜，两片反射镜的位置通过玻璃管［5］和筒状压电陶瓷［4］固定，并使两反射面高精度平行。

下面将本发明的技术方案结合附图作进一步说明。

图一是平面扫描干涉仪组装图。也是本发明的实施例。

图二是干涉仪组装中检测两平面反射镜平行度的装置示意图。

两平面反射镜［6］用优质熔石英或优质光学玻璃经常规光学冷加工工艺磨制而成。每片平面反射镜的内表面平整度光学加工应达到1／20λ以上，并镀以多层宽带高反介质膜，其反射率应达99％以上。为使平面镜的外表面反射光不会干扰两高反面的干涉条纹，每一平面反射镜的两表面间应有一小楔角。

将两平面反射镜分别粘至两个两端面研磨平行的玻璃管［5］上，并将两玻璃管分别粘在两个合金铝端座［2］［7］上，将筒状压电陶瓷［4］的一端粘在其中的一个铝端座上。注意两玻璃管的长度在干涉仪整体装配好后，必须保证两反射镜的间距L符合平面扫描干涉仪的自由光谱区要求（即△υ＝ (c)/(2L) ，c为光速）。此外，压电陶瓷两端口的内外表面要腐蚀掉1～2mm的银层，并在其内外表面各焊接上一条导线，以便加扫描电压，合金铝端座上还需打两小孔，以便引出导线。

装调时，为便于研磨压电陶瓷的另一端面，必须在压电陶瓷外面套上一稍短的保护套。用时设置一个如图二所示的检测装置。图二中，［9］为一小型He－Ne激光器，［10］为一短焦距透镜，将激光束准直照射在一纸屏［11］的小孔上（即光栏）。当穿过小孔的He－Ne激光束照射在调整中的干涉仪两反射镜［6］的内表面上时，两反射面将He－Ne激光束反射回［11］上。当此两反射面调整到基本平行（几十秒以内）时就可在屏［11］上观察到干涉圆环。经仔细研磨调整后，当干涉圆环的中心与屏上小孔完全重合时，即说明干涉仪的两反射镜反射面之平行度已达到要求。

当研磨达到要求后即可进行整体的固定粘结工作。粘结中，为保证粘结的精确性，避免因粘结胶的应力作用而破坏干涉环的质量，需要将干涉仪固定于一稳定可靠、调整方便的夹具上，并同时观察干涉环，以保证干涉环中心与屏上小孔重合。等粘胶完全固化后拆除夹具。

本实用新型的优点是结构简单、精细度高、光谱范围宽，当匹配相应光谱范围的高反镜后可适用于紫外、可见、红外光谱范围。可应用于激光器的模谱检测分析，高分辨率光谱测量及物理实验教学等。

附图说明：

图一：

1.压帽 2.左端座 3.保护筒 4.压电陶瓷 5.玻璃管 6.平面反射镜 7.右端座 8.保护盖

图二：

9.He－Ne激光器 10.短焦距透镜 11.针孔屏 12.反射镜 13.干涉仪