[实用新型]绝缘膜组合式高聚物压电传感器

说明书

本实用新型涉及压电传感器。

高聚物压电薄膜是一种新型的压电传感器，金属电极是其基本结构。压电信号必须通过电极引线才能接收到，有一部分电极引线必须承受和压电薄膜相同的压力工作环境。现有压电传感器的电极引线有两种方式：一种是对压电膜局部极化，在非极化的区域电镀出引线，工序复杂、成本高。另一种是在电极上用粘接或焊接方法直接出线，引线厚度在100μm以上，对压电信号有明显的畸变作用。另外，这两种方式都不适合批量制作。

本实用新型的目的在于提供一种灵敏度高、测量范围广、抗干扰、制作方便、成本低、可以批量生产的绝缘膜组合式高聚物压电传感器。

本实用新型采用如下方式完成。

本实用新型包括带有电极的压电膜和涂有胶层的绝缘引线膜，在绝缘引线膜涂有胶层的一面设置有电极引线，压电膜置于有电极引线一面的两片绝缘引线膜之间，电极和电极引线连接。两片绝缘引线膜粘合后，在电极引线的输出端连接信号传输线。

本实用新型的绝缘引线膜上也可以不涂底胶。压电膜四周还可以加同样厚度的垫膜，以使整体的平整性更好。本实用新型的电极引线为金属（如：金、银、铜、铝等）电镀或溅镀涂层。压电膜为大片的带有金属电极的高分子薄膜。

本实用新型具有以下优点：压电信号灵敏度高、测量范围广、抗干扰性能好、绝缘性能好、使用方便、制作工艺简单、成本低、可以批量生产。本实用新型用途广泛、可以用于各类冲击载荷测量、水下压力波测量等特殊环境。

下面结合附图对本实用新型作进一步描述。

附图1、本实用新型的绝缘引线膜、压电膜示意图。其中，1－绝缘引线膜，2－胶层，3－电极引线，4－压电膜，5－电极。

附图2、本实用新型实施例示意图。

参见附图1、2、带有电极的压电膜4为大片聚偏氟乙稀薄膜，厚度为50μm。绝缘引线膜1为HF型复合聚酰胺薄膜，厚度为50μm，基底聚酰胺为绝缘层，一面涂有F－46树脂胶层2，在有树脂的一面溅镀金电极引线3，金电极厚0.02μm。在320℃下，加压10分钟制成。