[发明专利]全息式焦点跟踪光触针测微仪

权利要求书

1、一种全息式焦点跟踪光触针测微仪，含有半导体激光器[1]、准直透镜[2]、物镜[6]、焦点跟踪驱动器[11]、驱动电路[16]、积分器[15]和显示器[18]，其特征是，由全息片[3]和[4]集成的全息刀口元件[5]设置在准直透镜[2]和物镜[6]之间；二个二象限光电接收器[8]和[9]置于半导体激光器[1]的一侧或分别置于半导体激光器[1]的一侧和后(前)侧，以便接收到由全息刀口元件[5]衍射的光束；所述光电接收器[8]和[9]连接信号处理器[14]，所述信号处理器[14]用以处理被测表面位移变化的信号；非线性修正器[17]一端接积分器[15]，另一端接显示器[18]。

2、根据权利要求1所述的测微仪，其特征是，所述的全息刀口元件[5]为全息正交刀口元件。

3、根据权利要求1所述的测微仪，其特征是，所述的全息刀口元件[5]为全息双刀口元件。

4、根据权利要求1所述的测微仪，其特征是，所述的全息刀口元件[5]向着光电接收器[8]和[9]的相反方向倾斜3-5°。