[发明专利]镍电极超声雾化压电换能器及其制造工艺无效
申请号: | 93102713.6 | 申请日: | 1993-03-16 |
公开(公告)号: | CN1029511C | 公开(公告)日: | 1995-08-16 |
发明(设计)人: | 咸寿荣 | 申请(专利权)人: | 咸寿荣 |
主分类号: | B06B1/06 | 分类号: | B06B1/06;A61M11/00;B44C5/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100026 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电极 超声 雾化 压电 换能器 及其 制造 工艺 | ||
1、一种镍电极超声雾化压电换能器,包括锆钛酸铅压电陶瓷片(1),镀覆电极(2),焊线(3),其特征是,所述电极(2)为镍电极;构成所述的锆钛酸铅压电陶瓷片(1)的压电材料,其中含铅的比例为93-94%,含锶的比例为7-6%,所述压电材料的化学表达式为Pb1-xSrx(Zr0.54Ti0.46)+0.1克分子%Ni2O3+0.1克分子%Cr2O3,其中X为0.07-0.06。
2、一种制造如权利要求1所述换能器的工艺,其特征是:
(一)制作所述的压电陶瓷片(1)的工艺步骤如下:
按照化学组成计量,称取各种相应的化学原料,将其在振动磨机中混合3小时;
对粉料在900℃温度条件下预烧2小时;
将预烧块破碎后在振磨机中粉碎5小时,之后再加入占料重4%,浓度为5%的水溶树脂溶液作为粘合剂,再以每平方厘米1000公斤的压力成型;
对成型料在1260℃-1310℃温度条件下保温1-2小时,烧制成压电陶瓷片;
对烧制的压电陶瓷片烧渗银电极,极化后再进行机械加工成所述的压电陶瓷片(1),
(二)在所述压电陶瓷片上镀覆电极的步骤:
在预制的陶瓷基体上贴上塑料胶带,即掩膜,
用化学镀覆方法在经掩膜的陶瓷片上镀覆镍电极基底,然后揭掉掩膜;
在150℃-200℃温度下对镍电极基底进行3小时热处理;
用电镀方法在镍电极基底上镀覆镍层,并在150℃-200℃温度下对镀覆镍层进行3小时热处理;
(三)对经上述两步骤制成的压电陶瓷片进行焊线,并封装制成所述的换能器。
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