[发明专利]球冠形栅网参数测量方法及测量仪

权利要求书

1、一种球冠形栅网参数测量方法，其特征是测量栅网间距时采用光学物镜对双(多)栅网多次调焦，记录每次成象清晰后的物镜位置数值，两个位置数值之差即为该两个栅网之间的间距。

2、一种球冠形栅网参数测量仪，其特征是由精密机械系统、光学系统、步进电机及其驱动系统、光栅定位测量系统、信号取获及处理系统组成，所说的精密机械系统由X-Y方向精密工作台和Z向粗动、微动工作台组成，所说的光学系统由透射光照明系统、反射光照明系统、显微物镜和目镜组成，所说的步进电机及其驱动系统由步进电机、驱动电路及其接口组成，所说的光栅定位测量系统由光栅读数头，光栅数显仪及计算机接口电路组成，所说的信号获取及处理系统由CCD摄象机、图象采集卡、计算机、监视器及打印机组成，上述五个部分除计算机、监视器、打印机、光栅数显仪单独放置外，其余部分都集中安装在栅网参数测量仪的主机上，所说的栅网参数测量仪的主机在机座上设置X向移动平台及Y向移动平台，在X向移动平台上设置载物台，在Y向移动平台上设置Z向立柱，在Z向立柱上设置Z向移动工作台，在Z向移动工作台上安装光学系统及摄象机，在Z向移动工作台上设置步进电机，在X向移动平台和Y向移动平台上有手动调整机构，在X向移动平台，Y向移动平台和Z向移动工作台上各装光栅测量系统。