[发明专利]改进的高容量吸气泵

权利要求书

1.一种适于产生和保持真空的改进的高容量吸气泵，包括多个堆积在一起的由非蒸发材料制成的多孔烧结环形物，该环形物具有：

i)具有一中心孔的第一平面；

ii)第二平面，它基本上平行于第一表面，并与之相距大约1-10.5mm的距离“d”；

iii)第三中间平面，它基本上平行于所述第一和第二平面，并位于所述第一和第二平面之间，且距所述第一平面大致0.5-5.0mm的厚度“t”，并具有与所述第一平面的孔基本同心的孔；

其中，下一个环形物的第一平面与前一环形物的第二平面接触；下一环形物的第一平面与前一环形物的第三平面由导气区隔开，导气区的高度“c”为0.5-10mm，其中，“t”，“d”和“c”的值相互满足如下关系式：

                    d＝t+c

2.如权利要求1的泵，其特征在于所述环形物堆积在壳体中，并以其孔边缘形成内通道。

3.如权利要求2的泵，其特征在于，还装备有在激活温度及所需的工作温度下对环形物进行加热的加热器，并具有将所述壳体固定到真空容器上的法兰盘。

4.如权利要求1的泵，其特征在于，多孔烧结环形物的形状可为下列之一：环形，椭圆形，多边形和其结合，且其密度为1-5g/cm³，最好为1.5-3.5g/cm³，其表面积为0.05-1m²/g。

5.如权利要求4的泵，其特征在于，所述非蒸发吸气材料可从下列材料中选择：锆，钛，铪，钽，钍，铀，铌，它们的混合物以及这些金属相互间和与其它金属的合金，这些合金可以是也可以不是金属间化合物，这些金属可单独使用或与其它材料，例如与抗烧结剂，混合使用。

6.如权利要求5的泵，其特征在于，所述非蒸发吸气材料从Zr-V-Fe合金和Zr-Ti-Fe合金中选择，任意地与单独的Zr和/或单独的Ti的混合，这些物质最终任意地为氢化物的形式。

7.如权利要求6的泵，其特征在于，所述非蒸发吸气材料是如下的混合物：

I)一种三元粒子Zr-V-Fe非蒸发吸气合金，当将其绘制于三元相图中时，其组分位于由其拐点构成的多边形内：

a)75％Zr-20％V-5％Fe

b)45％Zr-20％V-35％Fe

c)45％Zr-50％V-5％Fe

II)从Zr和Ti中选择的粒子非蒸发吸气金属，其中Zr和/或Ti粒子的平均尺寸小于合金粒子。