[发明专利]一种椭圆偏振光谱仪的设计方法

权利要求书

1，一种采用如下程式设计的椭圆偏振光谱仪的设计方法。光源→单色仪→起偏器P_x→样品→检偏器A→探测器→计算，上述程式中，起偏器P_x被固定在某方位角，检偏器A作频率为ω₀连续旋转，由探测器得到的信号为：

I＝K₀＋K₁cos2ω₀t+K₂sin2ω₀t＝K₀＋K_Acos(2ω₀t＋θ)上述中，K₀，K₁和K₂可通过富利埃变换求得： K 0 = 1 / n Σ i = 1 n I i , ]]> K 1 = 2 / n Σ i = 1 n I i cos 2 A i ]]> K 2 = 2 / n Σ i = 1 n I i sin 2 A i ]]>其中A_i＝(ω₀t)，为信号采样角度。

其特征在于，上述的起偏器P_x采用两个起偏器P₀和P其中起偏器P₀固定，检偏器A与起偏器P采用2∶1系数同步转动。使得由探测器得到的信号为：

I＝I₀＋I₁cosω₀t＋I₂cos2ω₀t＋I₃cos3ω₀t＋I₄cos4ω₀t其中 I k = 2 / n Σ i = 1 n I i cos ( K A i ) K = 1,2,3,4 ]]>

A_i＝(ω₀t)，为信号采样角度。

通过富利埃变换检测出上式中4个交流成份，由该4个交流分量的不同组合可自洽求出完整的椭偏参数，ρ₀和Δ。