[发明专利]亚微米分辨率的光电混合测量装置及其测量方法

权利要求书

1.一种亚微米分辨率的光电混合测量装置，由五部分：计算机(1)、显示器(2)、A/D转换和存储部分(3)、光电探头(4)和光学部分(5)所构成，其特征在于光学部分(5)含有象传递系统(6)、软边光栏(13)、被测物支架(7)、鉴别率板(12)和照明系统(8)，其中鉴别率板(12)和被测目标(11)是先后置于被测物支架(7)上，被测物支架(7)置于照明系统(8)的均匀照明区的位置上，鉴别率板(12)和被测目标(11)的象经过置于被测物支架(7)与象传递系统(6)之间的软边光栏(13)再通过象传递系统(6)，成象于光电探头(4)的接收面上，光电探头(4)将光学图象变成电信号输送到A/D变换和存储部分(3)中，然后进入计算机(1)，计算机(1)所计算的结果由显示器(2)显示出。

2.根据权利要求1所述的一种亚微米分辨率的光电混合测量装置，其特征在于象传递系统(6)含有以象传递方式排列的两种照相物镜(9)和(10)，其中安置在靠物方的照相物镜(10)与置于光电探头(4)接收面前的照相物镜(9)两者是反方向置放的，也就是说照相物镜(10)的象面处放物，而在它的物方找放大象。

3.根据权利要求2所述的一种亚微米分辨率的光电混合测量装置，其特征在于照相物镜(10)是普通照相镜头，或者是全息透镜，或者是傅里叶透镜。

4.一种亚微米分辨率的光电混合测量方法，其特征在于利用亚微米分辨率的光电混合测量装置，每测量一被测目标(11)之前，首先在被测物支架(7)上放置相应尺度的鉴别率板(12)，测量采集标准线宽所占象元数目与实际被测目标尺度的比较，计算机的处理数据采用时间和空间平滑以及插值的方法。