[发明专利]测量具有显微成象光路的光学仪器曝光时间的方法和装置

权利要求书

1．用于测量光学仪器的曝光时间的方法，该光学仪器具有一显微镜成象光路、一观察光路、一测量光路、一入射光路和一个棱镜系统(P)，其特征在于：一个配置在测量光路(M)上的含有多个分立测量光阑(2,3)的测量光阑板(4)和一个配置在入射光路(E)上位于标线板(7)附近的含有多个分立遮蔽图形(12,13)的遮蔽板(11)，测量光阑板(4)被电机(6)和旋转轴(5)可移动地支撑，遮蔽板(11)被电机(15)和旋转轴(14)可移动地支撑，测量光阑板(4)和遮蔽板(11)可同步旋转，通过棱镜系统(P)的多个透射、反射作用，位于测量光路(M)上的测量光阑(2)或(3)经入射光路(E)借助所属的遮蔽图形(12或13)和具有测量光阑(2,3)的轮廓或轮廓部分被反向投射到标线板(7)上，同时显示在观察光路(B)上的目镜中间象面(19)上。

2．按权利要求1所述的方法，其特征在于：采用一同步装置(16)对测量光阑板(4)和遮蔽板(11)的同步运行进行控制，该同步装置与电机(6或15)有效连接，电机通过旋转轴(5或14)实现板(4或11)的运行。

3．按权利要求1或2中之一所述的方法，其特征在于：为了改变测量光路(M)上的测量光阑的位置和/或改变测量光阑的大小及位于入射光路(E)上的相类似的位置和/或尺寸可变的遮蔽图形，可移动地配置有一对含有多个光阑(22-24；27-29)的测量光阑盘的相互重叠部分及一对含有多个类似的遮蔽图形的遮蔽盘，通过在第一个测量光阑盘(20)上配置的光阑(22或23或24)与在第二个测量光阑盘(21)上配置的光阑(27或28或29)在测量光路(M)范围内的几何重叠，可以对所产生的测量光阑(30-38)进行调整，此测量光阑与以相同的方式通过一个在第一遮蔽盘上配置的遮蔽图形与在第二个遮蔽盘上配置的遮蔽图形在入射光路(E)范围内的几何重叠而产生的遮蔽图形相符。

4．按权利要求1或2中之一所述的方法，其特征在于：附着在标线板上的测量光阑(2,3)的轮廓或轮廓部分在入射到观察光路(B)时，作为可见轮廓显示在目镜中间象(19)上。

5．用于测量光学仪器曝光时间的装置，该光学仪器具有一个显微成象光路、一个观察光路、一个测量光路、一个入射光路和一个棱镜系统(P)，其特征在于：

(a)在测量光路(M)上，在与物面(O)共轭的中间象面上可移动地配置有一个测量光阑板(4)，该测量光阑板至少要有两个不同尺寸的测量光阑，

(b)在入射光路(E)上配备有一个光源(L)、一个位于与目镜中间象面(19)共轭的面上的标线板(7)和一个在标线板附近配置的可移动的，并至少含有两个与测量光阑(2,3)互补的遮蔽图形(12,13)的遮蔽板(11)，测量光阑板(4)和遮蔽板(11)同步旋转，

(c)入射光路(E)的输入耦合及观察光路(B)的输出耦合是通过一个在成象光路(A)上配置的具有部分透明面(39)的组合棱镜系统(P)实现的。

6．按权利要求5所述的装置，其特征在于：标线板(7)含有位于测量光阑板(4)上的测量光阑(2,3)的反映出的轮廓或轮廓部分，优选形式为引线、虚线、点或顶点十字，实现方式为，轮廓或轮廓部分作为透明部分加到不透明的标线板(7)上。

7．按权利要求5或6中之一所述的装置，其特征在于：电机(6)通过一旋转轴(5)与测量光阑板(4)连接，以及电机(5)通过一旋转轴(14)与遮蔽板(11)连接，并且电机(6,15)由一同步装置(16)通过电气连接(18,17)加以控制。

8．按权利要求5所述的装置，其特征在于：

(a)在测量光路(M)上有两个相互部分重叠的不透明的旋转支撑的测量光阑盘(20,21)，测量光阑盘在各自的边缘范围内有不同尺寸的平面空隙形的光阑(22-24；27-29)，其中其旋转轴(25,26)的设置应与测量光路(M)轴线平行，

(b)在入射光路(E)上有两个相同的相互部分重叠的不透明的旋转支撑的遮蔽盘，遮蔽盘在其边缘范围有相应尺寸的平面空隙形的遮蔽图形，其中旋转轴的设置应与入射光路(E)轴线平行。

9．按权利要求8所述的装置，其特征在于：测量光阑盘(20或21)以及在其上的光阑(22-24或27-29)的几何图形、尺寸和位置完全相同。