[发明专利]激光消融碎屑清理法

权利要求书

1、一种对目标表面进行光消融的方法，其特征是，将所述目标表面交替地暴露在紫外光高低能量密度的脉冲中。

2、如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述脉冲紫外光是从激发物激光器发射出的光束。

3、如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述目标表面由交联聚合材料构成。

4、如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述目标表面为热固性材料。

5、如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述目标表面为热塑性材料。

6、如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述目标为接触透镜。

7、如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述低能量密度脉冲的能量密度约为20毫焦耳/平方厘米至大约600毫焦耳/平方厘米。

8、如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述目标表面是能赋予起码另一个表面光学性能或表面几何条件的装置。

9、如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述高能量密度脉冲的能量密度约为400毫焦耳/平方厘米至大约5焦耳/平方厘米。

10、一种清除目标表面上的碎屑的方法，包括下列步骤：

a）将脉冲紫外光照射到所述目标表面的初始扫描区;和

b）将所述目标表面暴露在高和低能量密度交替出现的间歇脉冲中。

11、一种经修整的目标表面，修整的方法是将所述表面暴露在低密度和高密度交替的紫外光间歇脉冲中，该脉冲的扫描方向取偏离所述目标表面的初始区的方向，以便将所述目标表面按预定方式扫描，达到预定的最终表面。

12、如权利要求11所述的目标表面，其特征在于，所述目标为交联聚合材料。

13、如权利要求12所述的目标表面，其特征在于，所述目标为热固性塑料材料。

14、如权利要求11所述的目标表面，其特征在于，所述目标为热塑性塑料材料。

15、如权利要求11所述的目标表面，其特征在于，所述目标表面是个透光衬底。

16、如权利要求11所述的目标表面，其特征在于，所述目标是接触透镜。

17、如权利要求11所述的目标表面，其特征在于，所述目标是个复曲面的接触透镜。

18、如权利要求11所述的目标表面，其特征在于，所述目标是个能赋予起码另一表面光学性能或表面几何条件的装置。