[发明专利]高分辨率鉴相式容栅位移传感器及其制作方法

权利要求书

1．一种高分辩率鉴相式容栅位移传感器，它包括主栅和副栅，其特征在于：采用玻璃或陶瓷作基片，用多层布线法制出栅片，栅片做有金属引脚，并通过连线与电路板相连，栅板中发射极分布在接收极两侧，副栅的节距与主栅对应。

2．一种如权利要求1所述的高分辨率鉴相式容栅位移传感器的制作方法，其特征在于先在玻璃或陶瓷基片表面蒸镀一层金属层，做出栅条图形，然后再在金属层上制作一层绝缘层，在绝缘层上相对于第一层金属层连接处开窗口，再在绝缘层上蒸镀第二层金属层，做出连线图形，最后在除引出脚处的整个栅片工作面涂敷保护层，并将引脚用连线与电路板相连。

3．根据权利要求1所述的高分辩鉴相式容栅位移传感器，其特征在于在栅片上同组两路栅条中，有一路栅条直接在栅条面连接，引至侧边，再通过绝缘层上的一个窗口，引至连接面，另一路的各栅条则通过绝缘层的窗口在连线面相通。