[发明专利]线性位移测量器

说明书

本发明涉及用于测量被测物尺寸和形状的千分表等线性位移测量，特别是涉及通过检测器上测轴的移动量获得其电测定值的电子式线性位移测量器。

过去用于测量被测物尺寸和形状的千分表的构成通常是，利用编码器检测出以可相对于测量仪主体自由移动方式安装的测轴移动量。例如，这种编码器可以是分别设置有作为主光栅的转动板、作为刻度光栅的固定板且可对两板间的相对转动位移进行光学检测的光电式编码器，也可以是其它可用于位移检测机构的电磁式、静电电容式、触点式等公知编码器。而且，由该编码器获得的测量信号，由配置在千分表内部的测量信号处理装置处理，由数字显示部分进行数字显示，并将其作为传送信号传送至外部装置。

图17和18示出了原有的千分表。在图17中，原有的千分表由固定在大体上呈U形的表架1一端的测砧2和装在表架1另一端的测轴4构成。在表架1上还设置有可将测轴4固定在所定位置的固紧件7。

测轴4的安装结构如图18所示。在图18中，测轴4由一端与被测物相接触的测轴主体4A和一端固定在该测轴主体4A另一端部处的螺旋轴21构成。该测轴主体4A通过轴承筒11支承在表架1上。在前述螺旋轴21的另一端上螺旋安装有具有若干个切口15的内套管13，在内套管13的外周处设置有外套管14，且这两个套管13、14通过保持环12固定在表架1上。内套管13具有套管主体13A和与该套管主体13A螺合的锥型螺母17。

在螺旋轴21的另一端固定有测微套管3，通过该套管3的转动操作，测轴4可相对于测砧2进退而呈夹持住被测物的状态，并用主尺刻度23和付尺刻度24进行测定。而且，还设置有可用预定压力夹持住被测物的棘轮22。

在原有的电子式千分表中，是通过由固定在保持环12上的固定板42和固定在测轴4上的转动板43构成的编码器41，将测轴4的移动量变换成电测量信号，并用具有图中未示出的电子回路的处理装置处理该测量信号，然后由数字显示部分5显示其测量信号，或将其送入其它的信号处理部分。

然而，原有的千分表存在有当在经常飞溅有研削液和研削油等等液体的环境下使用时，液体会浸入千分表的内部，从而使内部处理装置产生误动作等问题。

即如图18所示，液体可能会经过路径例如路径a1、a2、b等由外部浸入至千分表的内部。

路径a1是外套管14与测微套管3的分界部分，液体由这一外套管14与测微套管3分界部分的浸入，是沿外套管14的外周面与测微套管3的内周面间的微小间隙部19进入的，再通过由路径a2所示的部分，通过内套管13的切口部分15到达螺旋轴21的外周面。因该螺旋旋轴21与测轴主体4A是形成为一体的，故浸入的液体将沿螺旋轴21到达安装在测轴主体上4A上的编码器41和处理装置。

路径b是测轴主体4A与轴承筒11的分界部分，液体会由该路径b浸入，然后通过设置在轴承筒11附近的筒部件31和测轴主体4A间的分界部34，浸入千分表内部，到达编码器41或处理装置。

在测微套管3内侧形成室25，当测微套管3因转动而沿轴向移动时，室25的容积会大幅度变化。当发生这种剧烈变化时，外气压与室25的压力之间以及室25内的压力与收装有处理装置的千分表的内部压力之间将产生压力差。

举例来说，当外气压高于室25的压力时，外部的液体将会沿路径a1浸入至室25内。当室25的压力高于千分表的内部压力时，已浸入前述室25中的液体将会经路径a2沿螺旋轴21到达配置在内部的编码器4和处理装置。即该室25起着一种泵的作用。

因此，对于原有的千分表，当液体沿液体浸入路径a1、a2、b浸入至由电子回路构成的处理装置等检测器中时，便构成了不能进行测量和产生测量误差的原因。

因此，本发明的目的是要提供一种可防止液体浸入配置在测量器主体内部的检测器、以克服因液体而产生的测定失准的具有耐水性的线性位移测量器。

为实现上述目的，本发明的线性位移测量器设置有可相对于测量器主体进退的测轴以及设置在测量器主体内部的可检测出测轴的线性移动量的检测器，该测量器的特征在于，在通往前述检测器的液体浸入路径处设置有用于防止水、油等液体进入的防水机构。