[发明专利]薄膜磁传感器和悬架组件及其制造方法以及磁盘驱动组件

权利要求书

1.一种薄膜磁传感器，它具有一个水平延伸的空气轴承表面，该传感器包括：

一个大致水平延伸的第一磁极片，它具有一个磁极端部；

第一磁极片与所述空气轴承表面平行地延伸并且具有一个倾斜端，该倾斜端与第一磁极片的纵轴成一锐角；

一个倾斜的磁隙层，与第一磁极片的倾斜端相临并且平行，该倾斜的磁隙层与第一磁极片的所述纵轴成一锐角；

第二磁极片，它具有一个与所述磁隙层相临的倾斜的磁极端部，并且具有一个与所述第一磁极片磁隔离的水平部分，所述第一和第二磁极片在后磁隙区磁连接；

一个与所述第一和第二磁极片电隔离但是磁化所述第一和第二磁极片的线圈；以及

第一磁极片的磁极端部具有一个垂直于空气轴承表面的厚度，它限定传感器的喉高度。

2.一种组合薄膜磁传感器和悬架组件，含有如权利要求1所述的薄膜磁传感器，该组件包括：

悬架装置，包括至少一层弹性材料，覆盖所述第二磁极片的水平部分，所述悬架装置与所述第二磁极片电磁隔离，所述弹性材料延伸过所述后磁隙区。

3.如权利要求1所述的薄膜磁传感器，包括：

一个覆盖所述薄膜磁隙层外部和磁隙层每侧的磁极端部的铜耐磨层。

4.一种组合薄膜磁传感器和悬架组件，含有如权利要求3所述的薄膜磁传感器，该组件包括：

悬架装置，包括至少一层弹性材料，覆盖所述第二磁极片的水平部分，所述悬架装置与所述第二磁极片电磁隔离，所述弹性材料延伸过所述后磁隙区；以及

实质上在悬架装置整个长度上延伸的铜耐磨层。

5.如权利要求4所述的组件，包括：

具有水平部分和倾斜部分的第一水平磁极片，水平磁极端部与水平部分通过倾斜部分连接。

6.一种磁盘驱动组件，包括：

一个外壳；

安装在所述外壳中的至少一个媒体盘，具有用于在其上设置的数据道中存储数据的装置；

用于在所述外壳中转动所述媒体盘的装置；

位于所述外壳中与所述媒体盘接近的致动器臂；以及

与所述致动器臂连接的传感器和悬架组件，具有：

1)一个由绝缘材料构成并具有第一端和第二端的细长弹性部件，所述细长部件构形为具有一个主体部分和一个延伸部分，所述延伸部分位于第一端并且用于与所述媒体盘接触，所述部件的第二端与所述致动器臂连接；

2)埋置于所述细长部件中并具有第一和第二磁极片的传感装置，夹在磁极片之间的磁隙层限定了一个磁隙，该磁隙位于所述细长部件的所述延伸部件的外表面；

3)一个在所述细长部件外表面上具有入口的导电体，所述导电体包含在所述细长部件中，并且与所述磁传感装置有磁联系；以及

4)第一磁极片，具有一个带有倾斜端的水平磁极端部，以及第二磁极片，具有一个倾斜的磁极端部，第一磁极片的磁极端部在空气轴承表面上有一预定厚度，该预定厚度限定了传感器的喉高度；以及

所述磁隙层是倾斜的，并且具有第一和第二表面，第一表面与所述倾斜端接合，第二表面与所述倾斜磁极端接合。

7.一种制造整体磁传感器和悬架组件的方法，包括以下步骤：

在衬底表面上形成一个去除层；

在所述去除层上形成一个阻挡籽晶层；

在所述阻挡籽晶层上形成磁材料的第一磁极片，第一磁极片的磁极端部在空气轴承表面上有一预定厚度以限定传感器的喉高度；

在所述阻挡籽晶层上的所述第一磁极片的磁极端部形成一个磁隙层；

在所述第一磁极片上形成一个隔离层，所述隔离层用于电和磁隔离所述第一磁极片；

在所述隔离层上形成导电材料的线圈；

形成磁材料的第二磁极片，它的一个磁极端部形成在所述阻挡籽晶层上并且靠近所述磁隙层，所述第一和第二磁极片的所述磁极端部分别相对地设置，由限定一个磁隙的所述磁隙层分离，所述第一和第二磁极片在远离于用于限定后磁隙的所述磁隙的终端处磁连接，所述后磁隙延伸经过所述线圈；

形成绝缘材料的悬架部件，所述悬架部件包括至少一层绝缘材料，覆盖所述第二磁极片、所述隔离层和所述线圈，并且延伸过所述后磁隙；以及

去除所述去除层，从衬底上分离整体磁传感器和悬架组件，保留阻挡籽晶层用作耐磨层。