[发明专利]一种具有高蚀刻性能的合金薄板

权利要求书

1.一种给出极好蚀刻性能的具有穿孔表面的Fe-Ni合金薄板，它包括：

Fe-Ni合金薄板当用作荫罩时含Ni为34～38％(重量)，当用作集成电路引线框时含Ni38-52％(重量)；

所述Fe-Ni合金薄板在其表面上具有{331}、{210}和{211}晶面；

{331}晶面的聚集度为14％或更低，{210}晶面的聚集度为14％或更低，{211}晶面的聚集度为14％或更低；和

晶面的聚集度比值，即{210}/{331}+{211}为0.2-1.0；

所述Fe-Ni合金薄板的表面粗糙度Ra为0.90μm或更小。

所述Fe-Ni合金薄板在其厚度方向上的平均晶粒度为10μm或更小。

2.一种给出极好蚀刻性能的具有穿孔表面的Fe-Ni-Co合金薄板，它包括：

Fe-Ni-Co合金薄板当作用荫罩时含Ni为28～38％(重量)，含Co为1～7％(重量)，当用作集成电路引线框时含Ni为27～32％(重量)，含Co为1～20％(重量)；

所述Fe-Ni-Co合金薄板在其表面上具有{331}、{210}和{211}晶面；

{331}晶面的聚集度为14％或更低，{210}晶面的聚集度为14％或更低，{211}晶面的聚集度为14％或更低；和

晶面的聚集度比值，即{210}/({331}+{211})为0.2-1.0；

所述Fe-Ni-Co合金薄板的表面粗糙度Ra为0.90μm或更小。

所述Fe-Ni-Co合金薄板在其厚度方向上的平均晶粒度为10μm或更小。

3.一种给出极好蚀刻性能的具有穿孔表面的Fe-Ni-Cr合金薄板，它包括：

Fe-Ni-Cr合金薄板含Cr3％(重量)或更少；

所述合金薄板在其表面上具有{331}、{210}和{211}晶面；

{331}晶面的聚集度为14％或更低，{210}晶面的聚集度为14％或更低，{211}晶面的聚集度为14％或更低；和

晶面的聚集度比值，即{210}/({331}+{211})为0.2-1.0；

所述Fe-Ni-Cr合金薄板的表面粗糙度Ra为0.90μm或更小。

所述Fe-Ni-Cr合金薄板在其厚度方向上的平均晶粒度为10μm或更小。

4.一种给出极好蚀刻性能的具有穿孔表面的Fe-Ni合金薄板，它包括：

Fe-Ni合金薄板含Ni为34～52％(重量)

所述合金薄板具有{111}、{100}、{110}、{311}、{331}、{210}和{211}晶面；

所述各晶面具有以下各聚集度：

{111}晶面的聚集度S₁：1-10％

{100}晶面的聚集度S₂：50-94％

{110}晶面的聚集度S₃：1-24％

{311}晶面的聚集度S₄：1-14％

{331}晶面的聚集度S₅：1-14％

{210}晶面的聚集度为S₆：1-14％

{211}晶面的聚集度S₇：  1-14％

晶面的聚集度比值，即(S₂+S₄+S₆)/(S₁+S₃+S₅+S₇)，为0.8-20；

所述合金薄板在其厚度方向上的平均晶粒度为10μm或更小。