[发明专利]清洁室区域用之清洁装置

说明书

本发明有关一种清洁室区域用的清洁装置，它具有装设在一承载设施上的过滤通风单元。

例如在清洁室中之天花板装置有过滤一通风单元，此过滤通风单元平放在一个装载结构上，或者以螺钉栓在其上。那种过滤通风单元各别地悬挂在清洁室之天花板也已经公开。为了将过滤通风单元装置在一个特定的组态中，必需要一个周详的计划。此外装载结构多为复杂，昂贵并且不容易安装，而且自己不能安装，必须请供应商安装。

US-4,409,889公开了一种清洁装置，然而它并未能解决上述问题。

本发明的目的在于提供一种改进的清洁装置，使其成为一简单的设计及使用者可以自己安装。

为了达到这一目的，本发明提供了一种清洁室区域用的清洁装置，它具有装设在一承载设施上的过滤通风单元，其特征在于，至少两个过滤通风单元经由连接件互相连结成一个自我承载的结构单元。

由于要符合本发明的设计，多个过滤通风单元以调整的结构方式彼此连接成自行装置的结构单位。因此这种结构单位很简单，并且能由使用者自行安装，特别是此结构单位能被固定在简单的支撑上。因此不需要复杂的结构及过滤通风单元之昂贵的负载结构。结构单元当场与过滤通风单元组合一起。由于不需要昂贵的负载结构，即不需要一个特别设计来建立符合本发明的清洁装置。因此具有此结构单元使得清洁装置之费用低，安装方便简单外，并能快速组装完成。特别是在较大的清洁装置上，这些优点特别明显。藉着调整结构，不只可以调整小的装置，也可以用本发明之方法便宜且简单地建立大的清洁室。

以下结合附图中的实施例进一步说明本发明。附图中：

图1为装置在运送装置上部之自行负载结构单元之透视图，此结构单元乃由过滤通风单元组合成的，

图2为一个由4个过滤通风单元组合成之结构单元的放大及透视图，此单元由支撑托住，

图3为一个由4个过滤通风单元组合成三结构单元的放大透视图，此单元悬吊着，

图4为一分解图；显示一连接元件与四个过滤通风单元组成一个自我承载之结构单元之情形。

图5为一立体及局部分解图，显示本发明之清洁装置之过滤通风单元的情形。

图6至9为过滤通风单元之不同实施例。

图10及11为前挂体在图6所示之过滤通风单元的壳体上固定的方式。

图12为图10中之壳壁连同设于轮廓部的密封块的情形。

图13为一立体图，显示由过滤通风单元构成之自我承载结构单元另一种可能的装置情形。

图14为本发明之清洁装置结构单元之又一实施例。

图15为一放大之截面图，显示本发明的清洁装置又一实施例中两个互相连结的过滤通风单元的一部份。

图16为图15所示之一过滤通风单元的上视图。

图17为图16中依箭头XVII方向所见的视图。

图18为图16中依箭头XVIII方向所见的视图。

图19为图15中之过滤通风单元沿图20中线条XIX-XIX所见之纵向截面图。

图20为图19中沿线XX-XX所见之截面图。

图21为图20中沿箭头XXI方向所见之视图。

图22为本发明之清洁装置之过滤通风单元再一实施例之情形，所示方式如同图15。

图23为图22所示的过滤通风单元之上视图。

图24为本发明之清洁装置之过滤通风单元又一实施例之情形，所示方式如同图15及22。

图25为本发明之清洁装置之过滤通风单元之更一实施例之情形。

图26为图25沿线条XXVI-XXVI所见之视图。

图27为图25中依箭头XXVII方向所见之视图。

图28为一放大之截面图，显示依图25所示之两个互相连结之过滤通风单元之一部份。

在图1所示之清洁室区域3内，对污染敏感的产品，例如晶片，是以习知之方式在容器中被输送设施1所输送，该输送设施则是设在台子2或类似物上。清洁室区域3向上被过滤通风单元4限制，周围被固定在过滤通风单元4上的壁部5限制。过滤通风单元4经由支柱6(图2)支撑在地板上。在图1中为了清楚起见，并未画出支柱6。

清洁室区域3可为任何形状。在所示之实施例中其为直角相邻的部份构成。