[发明专利]测量盲小孔与狭槽的三维测头和测量方法

权利要求书

1、测量盲小孔与狭槽的三维测头，其特征在于，

波纹管或膜片三维弹性体(1)，

上端固定夹板(2)，

下断固定夹板(3)，

弹性测杆(4)，

电容测微仪的四个测头(5)，

金属十字平板(6)，

和球状测端(7)组成三维位移单元，

三维弹性体(1)上部固定于上端固定夹板(2)上，三维弹性体(1)下部固定于下端固定夹板(3)上，下端固定夹板(3)与十字平板(6)固定联接，电容测微仪的四个测头(5)对称分布固定于上端固定夹板(2)上，弹性测杆(4)的上端与固定夹板(3)固定联接，球状测端(7)固定于弹性测杆(4)的下端。

2、按照权利要求1所说的三维测头测量盲小孔与狭槽的测量方法，其特征在于，

所说的三维测头安装在三维坐标测量机上，

将球状测端（7）引入被测工件（8）的被测区域内，

球状测端（7）触测工件（8）测头产生测微和瞄准信号，

读出坐标机读数，

读出电容测微仪的位移读数A，

对三维测头标定得到测头传递系数B，

将A与B相乘得球状测端（7）相对于其零点的实际位移C，

位移C与坐标机读出的读数值相加得被测点的几何坐标值。