[发明专利]研磨方法,装置及其研磨轮

权利要求书

1.一种研磨装置，设有带被研磨面的加工部件(W)和以适宜手段旋转的研磨轮(12)(22)，以上述被研磨面的轴心为中心且可旋转地设置着上述加工部件(W)，同时由上述研磨轮(12)(22)研磨上述加工部件(W)的被研磨面；其特征在于：

设置一对研磨轮(12)(22)，使一方的研磨轮(12)以与上述加工部件(W)的旋转方向相同的状态接触上述被研磨面旋转，同时使另一方的研磨轮(22)以与上述加工部件(W)的旋转方向相反的状态接触上述被研磨面旋转。

2、如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于：设有旋转驱动装置(1)和研磨轮(12)，由上述旋转驱动装置(1)使上述研磨轮(12)旋转，由其研磨面(121)研磨加工部件(W)，并且可使研磨轮(12)的研磨面(121)相对于上述加工部件(W)的被研磨面进行进退移动。

3、如权利要求2所述的研磨装置，其特征在于：设有研磨剂(B)的贮槽(5)，在该贮槽(5)内设置加热装置。

4、如权利要求2所述的研磨装置，其特征在于：使上述研磨轮(12)可与上述旋转驱动装置(1)一起进行进退移动。

5、如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于：设有旋转驱动装置(1)(2)和研磨轮(12)(22)，由上述旋转驱动装置(1)(2)使上述研磨轮(12)(22)旋转，由其研磨面研磨加工部件(W)，并且使上述研磨轮(12)(22)的旋转轴(11)(21)相对于上述加工部件(W)的被研磨面摆动。

6、如权利要求5所述的研磨装置，其特征在于：上述旋转轴(11)(21)的摆动中心设置在该旋转轴的轴心上。

7、如权利要求5所述的研磨装置，其特征在于：上述旋转轴(11)(21)可往复运动地设置在其轴线的垂直方向上，并且该往复运动可相对于上述加工部件(W)大致平行。

8、如权利要求5所述的研磨装置，其特征在于：设置研磨剂(B)的贮槽(5)，在该贮槽(5)内设置加热装置。

9、如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于：一面向旋转的研磨轮(12)(22)的研磨面(121)(221)和加工部件(W)的被研磨面之间供给研磨剂(B)，一面由上述研磨轮(12)(22)研磨上述加工部件(W)，并且设置上述研磨剂(B)的贮槽(5)，在贮槽(5)内设置加热装置。

10、如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于：一面向旋转的研磨轮(12)(22)的研磨面(121)(221)和加工部件(W)的被研磨面之间供给研磨剂(B)，一面由上述研磨轮(12)(22)研磨上述加工部件(W)，并且设置加热上述加工部件(W)用的加热装置(6)。

11、一种研磨方法，以被研磨面的轴心为中心、可旋转地设置加工部件(W)，由被旋转驱动装置驱动旋转的研磨轮(12)(22)研磨上述加工部件的被研磨面；其特征在于：

设置一对研磨轮(12)(22)，使一方的研磨轮(12)以与上述加工部件(W)的旋转方向相同的状态接触上述被研磨面旋转，同时使另一方的研磨轮(22)以与上述加工部件(W)的旋转方向相反的状态接触上述被研磨面旋转。

12、如权利要求11所述的研磨方法，其特征在于：一面向由上述旋转驱动装置(1)转动的研磨轮(12)的研磨面(121)和加工部件(W)的被研磨面之间供给研磨剂(B)，一面由上述研磨轮(12)研磨上述加工部件(W)，并且，一面使上述研磨轮(12)的研磨面(121)相对于上述加工部件(W)的被研磨面进退移动，一面研磨上述加工部件(W)的被研磨面。

13、如权利要求12所述的研磨方法，其特征在于：使上述研磨轮(12)可与上述旋转驱动装置(1)一起进退移动。

14、如权利要求11所述的研磨方法，其特征在于：一面向旋转的研磨轮(12)(22)的研磨面和加工部件(W)的被研磨面之间供给研磨剂(B)，一面由上述研磨轮(12)(22)研磨上述加工部件(W)，并且，一面使上述研磨轮(12)(22)的旋转轴(11)(21)相对于上述加工部件(W)的被研磨面摆动，一面研磨上述被研磨面。