[实用新型]薄膜型铁电集成空间光调制器无效
| 申请号： | 93239048.X | 申请日： | 1993-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN2167388Y | 公开（公告）日： | 1994-06-01 |
| 发明（设计）人： | 肖定全;朱建国;钱正洪 | 申请（专利权）人： | 四川大学 |
| 主分类号： | G02F1/05 | 分类号： | G02F1/05 |
| 代理公司： | 四川大学专利事务所 | 代理人： | 刘金蓉 |
| 地址： | 61006*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 型铁电 集成 空间 调制器 | ||
【权利要求书】：
1、薄膜型铁电集成空间光调制器，由铁电薄膜材料光功能元件和调制电路构成，其特征是光功能元件由至少两种铁电薄膜或由铁电薄膜与压电薄膜或非线性光学薄膜集成在同一衬底上构成。
2、如权利要求1的空间光调制器，其特征是将光功能元件的每种功能薄膜沉积在同一个制有调制电路的衬底上。
3、如权利要求1或2的空间光调制器，其特征是光功能元件由铁电薄膜（PLT）和压电薄膜（ZnO）构成。
4、如权利要求1或2的空间光调制器，其特征是光功能元件由铁电薄膜（PZT）和非线性光学薄膜（β－BaB2O4）构成。
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