[发明专利]阴极组件及其制造方法

权利要求书

1．一种阴极组件，至少包括：

有内表面的阴极套管(15)；

设于所述阴极套管(15)的端部，发射电子的电子发射部(13)；

配置于所述阴极套管(15)内侧加热电子发射部(13)用的加热灯丝(21)；    

所述阴极套管(15)内表面上有由钨粉和氧化铝粉混合烧结而成的黑色膜(23)；

其特征在于，所述阴极套管(15)内表面上的黑色膜(23)是平均粒径在0.5μm以上、2μm以下范围内的钨与平均粒径在0.1μm以上且1μm不到范围内的氧化铝按照(90∶10)至(65∶35)范围内的钨对氧化铝重量比混合后的烧结层。

2．如权利要求1所述的阴极组件，其特征在于，所述阴极套管(15)用钽或以钽为主成分的合金，或者用铌或以铌为主成分的合金做成。

3．如权利要求1所述的阴极组件，其特征在于，钨与氧化铝的重量比在(70∶30)至(85∶15)的范围内。

4．一种在直接设置或通过保持体(19)设置电子发射部(13)的阴极套管(15)内表面上形成由钨粉和氧化铝粉混合烧结而成的黑色膜(23)的阴极组件制造方法，其特征在于包括下列步骤：

在上述阴极套管(15)的内表面上涂敷用平均粒径在0.5μm以上、2μm以下范围内的钨与平均粒径在0.1μm以上且1μm未到范围内的氧化铝按照(90∶10)至(65∶35)范围内的重量比(钨∶氧化铝)混入分散溶液而成的悬浊液(25)，

在非氧化性环境中，以1250℃至1580℃范围内的温度烧结，形成黑色膜(23)。

5．如权利要求4所述的制造方法，其特征在于，所述阴极套管(15)用钽或主成分为钽的合金、或者铌或主成分为铌的合金做成。

6．如权利要求4所述的制造方法，其特征在于，烧结温度在1400℃至1550℃范围内。

7．一种在直接设置或通过保持体(19)设置电子发射部(13)的阴极套管(15)内表面上形成的由钨粉和氧化铝粉混合烧结而成的黑色膜(23)的阴极组件制造方法，其特征在于，成为所述黑色被膜(23)的材料包含高熔点微粉，所述高熔点微粉是平均粒径在0.5μm以上、2μm以下范围内的钨与平均粒径在0.1μm以上且1μm不到范围内的氧化铝按照(90∶10)至(65∶35)范围内的钨对氧化铝重量比混合成的混合粉末，

包括下列步骤：

将作为所述黑色膜(23)的材料利用分散溶液制备悬浊液(25)，

将该悬浊液(25)充满所述阴极套管(15)的内部，

在充入的同时或者之后，用多孔性吸收体(26)接触或接近上述阴极套管(15)的开口部，吸收多余的悬浊液(25)，在所述阴极套管(15)的内表面上附着黑色膜(23)材料，

加热处理附着所述黑色膜(23)材料的所述阴极套管(15)。

8．如权利要求7所述的制造方法，其特征在于，作为黑色膜(23)的材料的悬浊液(25)是高熔点微粉与分散用液体混合而成的。

9．如权利要求8所述的制造方法，其特征在于，高熔点微粉与分散用液体的重量比为(30∶70)-(70∶30)。

10．如权利要求8所述的制造方法，其特征在于，高熔点微粉平均粒径在2μm以下。

11．如权利要求8所述的制造方法，其特征在于，所述分散用液体是硝化纤维素与醋酸丁酯的混合液。

12．如权利要求10所述的制造方法，其特征在于，所述高熔点粉末中钨与氧化铝的重量比在(70∶30)至(85∶15)范围内。

13．如权利要求7所述的制造方法，其特征在于，所述阴极套管(15)用长周期型元素周期表中5A族或6A族的元素单体或以该单体为主成分的合金做成。

14．如权利要求7所述的制造方法，其特征在于，所述阴极套管(15)用钽或钽为主成分的合金，或者铌或铌为主成分的合金做成。

15．如权利要求7所述的制造方法，其特征在于，所述多孔性吸收体(26)初始吸水速度为3mm/s以上。