[发明专利]一种微电子光刻的光化生酸源无效
| 申请号： | 94102680.9 | 申请日： | 1994-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN1095060A | 公开（公告）日： | 1994-11-16 |
| 发明（设计）人： | T·A·克斯 | 申请（专利权）人： | 莫顿国际股份有限公司 |
| 主分类号： | C07C309/86 | 分类号： | C07C309/86;G03F7/022;H01L21/312 |
| 代理公司： | 上海专利事务所 | 代理人： | 吴惠中 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 微电子 光刻 化生 | ||
1、一种具有如下结构式的重氮醌磺酸酯：
其特征在于：
式中R=氢，羟基或-O-S(=O)2-Q部分；
R1=CH2OS(=O)2-Q或-NO2；
R2=CH2OS(=O)2-Q或-NO2；
R3=低级烷基或氢；
R4=氢，-CH2OS(=O)2-Q或-NO2；
R5=氢，-CH2OS(=O)2-Q或-NO2；以及
Q为一种重氮萘醌部分，其条件是当R2和R4为-NO2时，R3为低级烷基，以及R′≠R2，R4≠R5。
2、如权利要求1所述的重氮醌磺酸酯，其特征在于R、R3、R4和R5为氢;R1为-CH2OS（＝O）2-Q，以及R2为-NO2。
3、如权利要求1所述的重氮醌磺酸酯，其特征在于R为-O-S（＝O）2-Q;R3为低级烷基;R2和R4为-NO2;以及R1和R5为-CH2O-S（＝O）2Q。
4、如权利要求3所述的酯，其特征在于R3为甲基。
5、如权利要求2所述的酯，其特征在于该磺酰基连结在重氮萘醌部分的4位上。
6、如权利要求2所述的酯，其特征在于该磺酰基连结在重氮萘醌部分的5位上。
7、一种具有如下结构的光化产酸剂：
其特征在于：
式中R＝氢，羟基或-O-S（＝O）2-Q部分;
R1＝CH2OS（＝O）2-Q或-NO2;
R2＝CH2OS（＝O）2-Q或-NO2;
R3＝低级烷基或氢;
R4＝氢，-CH2OS（＝O）2-Q或-NO2;
R5＝氢，-CH2OS（＝O）2-Q或-NO2;以及
Q为一种重氮萘醌部分，其条件是当R2和R4为-NO2时R3为低级烷基，以及R'≠R2，R4≠R5。
8、如权利要求7所述的光化产酸剂，其特征在于R为-O-S（＝O）2-Q;R3为低级烷基;R2和R4为-NO2;R1和R5为-CH2O-S（＝O）2-Q。
9、一种成正象工作的光刻胶组合物，其特征在于：它包括一种水不溶性聚合物，其结构中有一种可抑制聚合物在含水碱介质中的溶解度的可被酸开裂的部分;和权利要求7的感光化产酸剂。
10、如权利要求9所述的组合物，其特征在于R3为甲基。
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