[发明专利]粒状多层磁致电阻器件的制造方法

权利要求书

1．一种制造粒状多层磁致电阻器件的方法，其特征在于，它包括下列步骤：

在适当的基片上沉积多个双层材料，每个所述双层材料包括第一层非磁性导电材料和第二层铁磁性材料；以及

在预定的温度下对所得多层器件退火，在所述退火期间每个所述第二层铁磁性材料分裂成多个铁磁性颗粒，所述第一层中的所述非磁性导电材料流进所述铁磁性颗粒之间和周围。

2．如权利要求1所述的方法，其特征在于所述非磁性导电材料和所述铁磁性材料是互不混溶的。

3．如权利要求1所述的方法，其特征在于所述铁磁性颗粒是大体上扁平的盘形颗粒，这些颗粒在每个所述层中被隔开的距离小于所述非磁性材料中导电电子的平均自由程长度。

4．如权利要求1所述的方法，其特征在于双层层数从2至10个双层的范围内选择。

5．如权利要求4所述的方法，其特征在于双层层数为5。

6．如权利要求1所述的方法，其特征在于所述预定温度从100至500℃的范围内选择。

7．如权利要求1所述的方法，其特征在于所述第二层铁磁性材料是由选自铁、钴、镍、镍-铁及基于铁、钴、镍或镍铁的铁磁性合金所组成组类的材料制成的。

8．如权利要求7所述的方法，其特征在于所述第二层铁磁性材料是由镍-铁制成的。

9．如权利要求7所述的方法，其特征在于所述第二层铁磁性材料是由镍-铁-铅制成的

10．如权利要求7所述的方法，其特征在于所述第二层铁磁性材料是由镍-铁-银制成的。

11．如权利要求1所述的方法，其特征在于所述第二层铁磁性材料的厚度从10至30埃的范围内选择。

12．如权利要求1所述的方法，其特征在于所述第一层非磁性导电材料的厚度从20至50埃的范围内选择。

13．如权利要求1所述的方法，其特征在于退火步骤包括，在沿所述多层器件的纵轴方向施加磁场时给所述多层器件退火的步骤。