[发明专利]纳米级超微传感器及其制作方法

权利要求书

1.一种纳米级超微传感器，其特征在于：它包括如下部分：(a)纳米级超微柱电极，(b)纳米级超微盘电极，(c)经表面修饰成为纳米级超微传感器。

2.一种纳米级超微传感器的制作方法，其特征在于：它包括如下步骤：(a)以离子束轰击微米级碳纤维或金属丝电极尖端，制得电极尖端为纳米级的超微柱电极，(b)在制好的纳米级柱电极表面电聚合了一层3-烯丙基邻苯二酚纳米级的绝缘层，再将电极尖端切开而显露出平面，成为纳米级盘电极，(c)对纳米级盘电极表面修饰聚苯胺制成PH传感器，(d)将制作好的纳米级传感器或电极在真空下与电极支撑体、电极材料结合在一起，所制作成的电极的最小直径可达30nm。

3.按权利要求2所述的制作方法，其特征在于：离子束轰击碳纤维或金属尖端，所选离子束的参数为：加速电压Va≥2000至8000kV，离子束流≥0.1到20mA，掠射角θ≥10到35°，转靶速度ω≥5到85rpm，轰击时间t≥2到20h，真空度τ≥0.0001到0.005Pa。

4.按权利要求2所述的制作方法，其特征在于：纳米级电极表面绝缘层，电聚合的电解液组成为3-烯丙基邻苯二酚≥0.05到0.2mol/L，苯酚≥1.0×10^-6到1.0×10^-4。mol/L，丁醇≥0.1到0.5mol/L，将它们溶解在≥20到80％的甲醇水溶液中，用NH₃·H₂O调节pH值至≥8.5到10.0范围；聚合电位：≥3.0到4.0V；聚合时间：≥5到15min；交联温度：≥120到250℃；交联时间：≥10到30min。

5.按权利要求2或3所述的制作方法，其特征在于：采用在真空下加热，把支撑体玻璃毛细管与碳纤维或金属电极材料封合。