[发明专利]对摇摆不敏感的气承滑座

权利要求书

1.一种用来支撑传感器的气承滑座，包括：具有前沿、后沿和其上设置至少两条轨道的滑座主体，与所述至少两条轨道邻近的从所述前沿延伸到所述后沿的下凹区段所说的至少两条轨道包括：

从所述前沿延伸到所述后沿并适于容纳传感器的第1侧轨道，所速第1侧轨道在所述前沿处有倾斜段形状的承压部；和

靠近所述滑座主体侧沿从所述前沿向所述后沿延伸的第2侧轨道，所述第2侧轨道在所述前沿处有倾斜的承压部。

其特征在于所述第2侧轨道在后沿处具有减小负荷支承能力的下凹区域。

2.根据权利要求1的气承滑座，其特征在于所述第1侧轨道和第2侧轨道是平行的，而且沿所述滑座主体的侧边沿设置。

3.根据权利要求1的用于支撑传感器的气承滑座，其特征在于：

所述第2侧轨道的长度小于所述滑座主体长度的97％而大于所述滑座主体长度的30％。

4.一种用于支撑传感器的气承滑座，包括具有前沿和后沿的滑座主体，以及从所述前沿延伸到后沿的下凹区段，以及

贯穿所述滑座主体整个宽度而形成的承压部；

从所述承压部延伸到所述后沿并且适于容纳传感器的第1侧轨道；和

从所述承压部延伸的第2侧轨道，其特征在于所述第2侧轨道在所述后沿具有减小的负荷能力的下凹区域，所述第2侧轨道的长度小于滑座主体长度的97％。

5.根据权利要求1或4的气承滑座，其特征在于第1侧轨道具有横通道。

6.根据权利要求1，3和4中的任一个的滑座，其特征在于在所述的下凹区域处，所述的第2侧轨道的宽度变窄。

7.根据权利要求1，3和4的任一个的滑座，其特征在于所述第1侧轨道的宽度在所述后沿处变窄，而所述第2侧轨道在所述下凹区域变窄。

8.根据权利要求1，3和4的任一个的滑座，其特征在于所述第2侧轨道在所述下凹区域包括扩口部分。

9.根据权利要求1，3和4的任一个的滑座，其特征在于所述第1侧轨道在所述后沿处包括一个扩口部分，所述第2侧轨道在所述下凹区域包括一个扩口部分。

10.一种用于支撑传感器的气承滑座，包括具有前沿和后沿的滑座主体，包括从所述前沿延伸到所述后沿的下凹区段，其特征在于还包括：

由第1“U”形轨道限定的第1负压气穴，所述“U”形轨道包括沿所述前沿的第1部分延伸的横轨道和从所述横轨道沿所述后沿的方向延伸的第1和第2分支轨道，所述第1分支轨道在所述后沿处具有减小了负荷能力的下凹区域，

由第2“U”形轨道限制的第2负压气穴，所速第2“U”形轨道包括沿所述前沿的第2部分延伸的横轨道和从所述横轨道沿所述后沿的方向延伸的第1和第2分支轨道，所述第2分支轨道延伸到所述后沿。

所述第1和第2“U”形轨道的所述横轨道的每一个在所述前沿处包括一个倾斜段形状的承压部。

11.根据权利要求10的滑座，其特征在于所述第1“U”形轨道的所述第1分支轨道在所述下凹区域包括一个扩口部分。

12.根据权利要求10的滑座，其特征在于所述第1“U”形轨道的所述第1分支轨道在所述下凹区域包括扩口部分，所述第2“U”形轨道的第2分支轨道在所述后沿处包括一个扩口部分。

13.根据权利要求10的滑座，其特征在于所述第1“U”形轨道的第1分支轨道在所述下凹区域包括一个扩口部分。

14.根据权利要求10的滑座，其特征在于所述第1“U”形轨道的第1分支轨道在所述下凹区域包括一个扩口部分，所述第2“U”形轨道的第2分支轨道在所述的后沿处包括一个扩口部分。

15.根据权利要求10的滑座，其特征在于所述第1“U”形轨道的第1分支轨道沿所述滑座的纵向边沿延伸，所述第2“U”形轨道的第2分支轨道沿所述滑座的另一纵向边沿延伸。