[发明专利]能够输出单一谐波的光栅位移测量装置

权利要求书

1、一种能够输出单一谐波的光栅式位移测量装置，有光源，并位于聚光镜的焦面上，聚光镜发出的准直光束，依次通过彼此相邻的黑白主光栅和指示光栅，以及光电接收装置，其中黑白主光栅和指示光栅的刻线相互倾斜或者方向一致，并具有与运动部件相联结的手段，其特征是，所说的指示光栅为光栅的刻线的光强透过率按正弦函数变化的正弦指示光栅。

2、按照权利要求1所说的能够输出单一谐波的光栅式位移测量装置，其特征是，黑白主光栅与正弦指示光栅均采用线性光栅，正弦指示光栅至少有一块刻划区域沿刻线刻划垂直的方向满足：

其中，x为沿与光栅刻线垂直方向的坐标，x的取值范围为光栅的连续刻划区域;

τ（x）为光栅刻线的光强透过率;

τm为常数;

j = - 1 ]]>

d为光栅刻线间距。

3、按照权利要求1所说的能够输出单一谐波的光栅式位移测量装置，其特征是所说的黑白主光栅和正弦指示光栅均采用径向光栅，其中正弦指示光栅至少有一块刻划区域满足：

l ( θ ) = Σ m = - 1 + 1 l m e × p ( Ωθm ω ) ]]>

其中，θ为光栅沿圆周方向的角度坐标，θ的取值范围为光栅的连续刻划区域;

τ（θ）为光栅刻线的光强透过率;

τ_O，τ₁为常数;

ω为光栅刻线角间距。