[发明专利]镱低压传感器制作方法

说明书

本发明为一种低压传感器的制作方法，尤为是指膜状的金属镱低压传感器的制作方法。

目前箔式传感器应用十分广泛，尤为是当需测量动高压流场中不同位置的压力等参数时，常使用箔式传感器，通常使用的是锰铜压阻传感器，但在动高压测量领域，当压力场压力相对较低时，则锰铜压阻传感器难以胜任。其原因是在低压状态下，锰铜传感器的线性关系不好，给标定带来极大困难，并且测量精度下降。目前对于低压测量，使用金属镱作为箔式传感器的敏感部分，但由于镱比较活泼，不能用传统的光刻工艺加工，目前大多数制作单位是利用套模直接真空蒸渡的方法，其制作的传感器粗糙，性能分散，难以小型化，故对小型试件难以进行拉氏量的低压直接测量。

本发明的目的是公开一种镱低压传感器的加工方法，可得精细的，性能稳定的镱低压传感器。

实现本发明的制作步骤如下：在非金属基底的边缘粘附有箔状铜引线，在铜引线的头部，利用真空蒸镀镀上一金属镱膜层，在加温和加压条件下，在铜引线和镱膜表面压上感光层，将具有传感器敏感部分的形状的底片压在感光层上曝光，然后在碱溶液中显影，用酸溶液将露出的镱膜腐蚀掉，清洗后烘干，最后利用封装工艺封装。则制得镱低压传感器。

利用本发明所述的方法，制得的镱低压传感器的质量性能稳定，不受传感器尺寸的限制，并且其质量均一性能好，由于很容易在底片上得到精确的传感器的各种形状，上述方法可制得各种压力传感器，并且精度高，误差小，例如可方便制得П型、型或其它形状的传感器。

下面结合实施例详细给出本发明的具体步骤，在非金属材料的基底的边缘粘附有箔状铜引线，在铜引线的头部，利用真空蒸镀在基底上镀一层金属镱膜层，该镱膜层与铜引线的头部相重合，在加温和加压条件下，在铜引线和镱膜表面压上感光层，感光层最好为水溶性抗蚀干膜，将具有传感器敏感部分的形状的底片压在感光层上曝光，然后在碱溶液中显影，未曝光部份的感光层与碱溶液反应而被去掉，露出部分镱金属膜，用体积百分比为1-5%的酸溶液作为腐蚀剂，去掉不受水溶性抗蚀干膜保护的镱膜，清洗后烘干，再将除去部分金属镱膜的一面封装，其封装步骤如下：在低真空加热条件下，再在除去部分金属镱膜的一面上压上一层水溶性抗蚀干膜，干膜上粘附一层聚指薄膜保护层，保护层的厚度为0.05mm-0.15mm。经过上述制作可得到性能良好的镱低压传感器。