[发明专利]铝-氮-碳选择性吸收膜制备吸收膜的方法无效
| 申请号： | 94107474.9 | 申请日： | 1994-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN1116252A | 公开（公告）日： | 1996-02-07 |
| 发明（设计）人： | 李先航 | 申请（专利权）人： | 李先航 |
| 主分类号： | C23C14/18 | 分类号： | C23C14/18;C23C14/34;F24J2/50 |
| 代理公司： | 小松专利事务所 | 代理人： | 张耀光 |
| 地址： | 100039 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 选择性 吸收 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1、一种选择性吸收膜，其特征在于是Al-N-C吸收膜，由一层金属铝薄膜和一层铝氮碳膜组成的金属陶瓷型选择性吸收膜。
2、根据权利要求1所述的选择性吸收膜，其特征在于吸收膜中铝元素由膜层底部到膜层表面逐渐减少，而氮及碳元素由膜层底部到膜层表面逐渐增多，形成一种复合层吸收膜。
3、根据权利要求1所述的选择性吸收膜，其特征在于膜厚为0.3×10-6～2×10-6m。
4、一种制备吸收膜的方法，特别是在玻璃表面制膜的方法，其步骤如下：将清洗烘干的玻璃管装入镀膜机内，抽空到0.2～1×10-2Pa后，通入氩气，由质量流量计控制在20～100cm3/s，直流负压为200V到600V，时间20～60分钟，铝靶通过直流电溅射铝原子沉积在玻璃管外表面一层厚度为0.1×10-6～0.5×10-6m的铝膜，然后再入氮气10～80cm3/s气体，溅射沉积一层Al-N-C渐变的吸收膜，膜厚为0.2×10-6～2×10-6m。
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