[发明专利]一种共溅射固体润滑薄膜及其制备方法无效
| 申请号： | 94107544.3 | 申请日： | 1994-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN1043366C | 公开（公告）日： | 1999-05-12 |
| 发明（设计）人： | 于德洋;王均安;孙晓军;朱昌铭;翁立军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34;C10M103/06 |
| 代理公司： | 中国科学院兰州专利事务所 | 代理人： | 方晓佳 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 固体 润滑 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1、一种共溅射固体润滑薄膜，该薄膜采用如下成分的复合靶共溅射制得：二硫化钼85％～95％，金或金-钯合金3％～12％，氟化铈或氟化镧0.2％～5％(重量)。
2、权利要求1所述的共溅射固体润滑薄膜制备方法，该方法包括将被镀工件置于溅射电磁场和温度场的均匀区内，所用工艺参数为：新靶被预溅射15小时以上后，进行正式溅射镀膜；镀膜室本底气压≤1×10-3Pa，预溅射和溅射工作气体氩或氙的气压为0.02～6.0 Pa；离子刻蚀面功率密度为0.2～10W/cm2，靶电压为0.5～4.0kV，工件偏压为-50～-200V，镀膜时间10～100分钟；镀膜结束后1～10分钟内充保护气体至2～8×104Pa后自然冷却至室温。
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