[发明专利]滑动部件无效
| 申请号： | 94108623.2 | 申请日： | 1994-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN1068388C | 公开（公告）日： | 2001-07-11 |
| 发明（设计）人： | 小室寿朗;大矢正规;今井照男 | 申请（专利权）人： | 株式会社理研 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 吴大建 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 滑动 部件 | ||
【权利要求书】：
1．一种滑动部件，它是在基材上覆盖上至少含有CrN的氮化铬系的保护膜，其特征在于，所述保护膜的破断面的结晶有从基材表面向保护膜表面延伸的柱状形态，所述氮化铬系保护膜的空位率是1.5-20％，保护膜的厚度为1-50μm。
2．根据权利要求1所述的滑动部件，其特征在于，所述保护膜的组成是CrN，而且由与滑动面平行的(111)面方位取向。
3．根据权利要求1所述的滑动部件，其特征在于，所述保护膜的显微硬度是从表面测定的，有HmV600-1000之值。
4．根据权利要求1所述的滑动部件，其特征在于，在上述保护膜和基材之间设置着由铬构成的基底层。
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