[发明专利]蓝宝石平面上的氧化锌压电晶体膜无效
| 申请号： | 94109460.X | 申请日： | 1994-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN1050246C | 公开（公告）日： | 2000-03-08 |
| 发明（设计）人： | 小池纯;家木英治 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 刘立平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 平面 氧化锌 压电 晶体 | ||
1.一种外延生长于蓝宝石表面的(1120)—平面氧化锌压电晶体膜，该蓝宝石表面实质上平行于其(0112)—平面，其特征在于：
所述氧化锌压电晶体膜含有对Zn和Cu的总量不大于4.5重量％的Cu。
2.如权利要求1所述的氧化锌压电晶体膜，其特征在于，所述晶体膜含0.4-4.0重量％的Cu。
3，如权利要求2所述的氧化锌压电晶体膜，其特征在于，所述晶体膜含0.6-3.0重量％的Cu。
4.如权利要求3所述的氧化锌压电晶体膜，其特征在于，所述膜含0.9-2.0重量％的Cu。
5.如权利要求1所述的氧化锌压电晶体膜，其特征在于，所述晶体膜由溅射法形成。
6.一种用于声表面波器件的声表面波基片，其特征在于，所述基片包括：
一种具有基本上平行于其(0112)面的表面的(0112)—平面切割蓝宝石衬底；及
一种外延生长于所述蓝宝石衬底的所述表面上的(1120)—平面氧化锌压电晶体膜；
所述氧化锌压电晶体膜含有相对于Zn和Cu总量的、不大于4.5重量％的Cu。
7.如权利要求6所述的声表面波基片，其特征在于，所述的氧化锌压电晶体膜含0.4-4.0重量％的Cu。
8.如权利要求7所述的声表面波基片，其特征在于，所述的氧化锌压电晶体膜含0.6-3.0重量％的Cu。
9.如权利要求8所述的声表面波基片，其特征在于，所述的氧化锌压电晶体膜含0.9-2.0重量％的Cu。
10.如权利要求6所述的声表面波基片，其特征在于，所述的氧化锌压电晶体膜由溅射法形成。
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