[发明专利]半导体热电器件无效
申请号: | 94112273.5 | 申请日: | 1994-08-20 |
公开(公告)号: | CN1034199C | 公开(公告)日: | 1997-03-05 |
发明(设计)人: | 姚奎鸿;胡东浩;张焕林 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | H01L35/28 | 分类号: | H01L35/28;H01L35/34;C30B11/00 |
代理公司: | 浙江大学专利代理事务所 | 代理人: | 连寿金 |
地址: | 310027*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 热电器件 | ||
本发明涉及一种半导体热电器件。
热电器件利用电流通过半导体时的帕尔贴效应直接致冷。半导体热电致冷器构造简单,没有工质循环,没有机械运动,无噪声,无污染,小而轻,在空间技术、海洋开发、电子、医疗以及许多家用电器上应用广泛,尤其适合于制作小型制冷装置。但是热电器件对于较大功率的应用,如大宗的冰箱和空调器,其推广还受成本高和效率低的限制。造成热电器件成本高的主要因素是热电材料以及器件制造工艺复杂,成品率低。
迄今工业生产的典型热电器件的结构如图1所示,其基本单元是半导体温差电偶,电偶的一个热偶臂P用p型半导体材料制作,另一个热偶臂N用n型半导体材料制作,两个热偶臂P、N用金属导电条B、C连接,如图示极性加上直流电压后,在与金属条B的接点处吸热,在与金属条C的接点处放热,A、D为导热绝缘板,通过板A吸热致冷,通过板D将产生的热放出。其中关键部分是p型热偶臂P和n型热偶臂N,它们的性能决定热电器件工作的效率。传统的热电臂都是方截面柱体,尺寸约为1-3mm,热电臂材料主要是铋-碲系合金。目前工业上实用的制造这种热电材料的方法主要分为两类,即晶体生长法和粉末烧结法,先制成晶锭,然后切割成热电臂形状,这两种方法存在一系列缺点。
这两种方法制得的都是晶锭,要做成热电臂还必需将晶锭切割成小块。从热电器件工艺原理可知,对于一定量的材料,要获得较大的单位制冷量,热电臂尺寸应尽量小,但制造小的热电臂受到切割损耗的限制,目前技术上可行的下限是1mm边长的立方体,采用目前的切割技术,若切割0.5mm边长的立方体,仅刀缝损失就达到80%,再由于表面的切割损伤层,材料的可利用率更低,技术上已不可行,因此用目前工艺制造的热电器件其制冷能力受到限制。
总之,现有制造热电材料的方法工序多,损耗大,质量控制难,器件的单位制冷量小,成本高,不利于较大功率制冷的应用。
本发明目的在于改进热电器件的结构,提出有关半导体材料的制造方法与设备,从而简化工艺、减少损耗、改善性能并降低成本。具体地说,提出一种新结构的热电器件,其中的半导体热电臂为球形,即p型半导体晶球和n型半导体晶球,使热电器件具有更强的制冷能力,较高的机械强度和优越的工艺性。
为实现本发明的目的采用以下技术措施是:常规热电器件中方柱形半导体热电臂采用半导体晶球取代,这种新型结构热电器件具有比常规器件更优的致冷生能,同时具有较高的强度,较好的工艺性。
根据热电器件原理,器件在最大致冷效率状态下的产冷量
其中,
M=[1+Z(Th+Tc)/2]1/2
式中α-温差电动势率,Th-热结点温度,Tc-冷结点温度,
R-热电偶电阻,Z-材料的优值系数。
为了在较高效率下获得尽量大的产冷量,由(1)式可知热电偶电阻R应尽量小。对于单位量的热电材料,方形热电臂的总电阻为:
R=ρ*L2
其中,ρ-材料的电阻率,L-方形热电臂的边长。
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