[发明专利]磁偏转质谱室

说明书

本发明涉及氦质谱检漏仪中较为新颖的一种结构。它是质谱计在真空技术中以氦为示综气体探漏仪器中的心脏部分。

在工业生产中，任何真空系统及气密性容器都必然有漏气存在；检漏是真空作业中必不可少的一道工序。目前，对大容积在低真空nPa的压力下进行检漏，而又要求仪器灵敏度保持在较高指标上(10^-10Pam³/S)实际应用中普遍存在如下问题：(1)被检容器由于容积较大，检漏时真空度难以抽得很高；(2)仪器的灯照在较高真空压力下无法启动工作；(3)仪器在不加液氮的条件下，检漏灵敏度很难达到10^-12pa·m³/S。

现有技术中分析器板多设计成一平板状，加之非氦离子档板设置不当，致使质谱室在压强高时由于杂散离子的干扰不能正常工作，灵敏度急剧降低。

本发明的目的设计一种新型质谱室，以实现结构紧凑、装调简便、高灵敏度、高工作压强的特点。

本发明的目的通过如下方案来实现的：

本产品包括三部分即离子发生器、分析器、离子收集器组成。

分析器板位于均匀磁场的空间，用螺钉和可加工陶瓷固定在离化室和离子收集器上部，分析器板中间部位设计成一定角度，两端部开有不对称狭缝，所述的狭缝是离子入口和离子出口。离化室是一长方形小盒，顶及侧面各开一个长方狭缝，是热电子入射和离子引出之用，即电子入口(4)及离子引出口(5)。分析器板上设计有离子入口(7)和离子出口(9)。氦离子穿过离子出口到达收集极板，其它离子全部被设置的档板挡住，所述的若干个几何形状的档板至少有一个设计成半圆形档板，档板另一侧通过螺钉固定，离子收集器为一块长方形金属板，在分析器板的下方用可加工陶瓷及螺母一并固定。为了防止杂散离子落到收集板上和抑制从收集极上溅射的二次电子，在收集极的上方装有两层栅网，靠近收集极的是电子抑制栅，最上一层为离子抑制栅。

所述的分析器板由中间部位弯成10°～20°角，离子入口与离子出口在同一水平线上。

离子发生器由离化室和灯丝组成，氧化钇灯丝通过灯丝架用螺钉固定在离化室电子入口正上方，电子入口的位置偏离中心，向离子运动方向偏移。

本发明的积极效果从以下几方面阐述：1.考虑到整个质谱室都处在均匀磁场中，因此离子一出离化室即受到偏转，偏转距离与分析器板上的离子入口的缝宽相比拟，因此设计时离子引出口(在离化室上)与离子入口(在分析器板上)不对中，而是偏离一个距离，因此该产品具有灵敏度高的特点。

2.在180°磁偏转分析器中，若射入离子束与偏转半径垂直，则有方向聚焦功能，由于离子进入分析器前已经偏转，进入分析器后则不能保证与轨道半径垂直，失去方向聚焦的功能，为克服此设计时令离子源相对偏转半圆直径偏转一合适角度，保持离子垂直入射到分析器。

3.设置了半圆形档板，有效地阻碍了非氦离子介入。

4.成功地采用了抗氧化抗冲击的铱基底的氧化钇灯丝。

图1是本实用新型结构示意图。

下面结合附图(实施例)详细描述本实用新型的结构：

离化室与氧化钇灯丝用可加工陶瓷螺钉紧固，灯丝架在离化室电子入口上面，所述的灯丝通过灯丝架固定，离子穿过分析器板上的离子入口进入分析器，所有的档板与支撑力柱用螺钉连接，其支撑力柱里侧装有离子抑制栅，电子抑制栅，同时用螺钉固定，离子收集板插入陶瓷件孔，用螺母固定，整个离子收集器用螺钉固定在支撑立柱上。所述的分析器板中间部位弯成10～20°角，离子入口与离子出口在同一水平线上，电子入口的位置偏离中心。所述的档板至少有一个设计成半圆形。