[发明专利]生成聚酰亚胺的物料溶液及其应用

说明书

本发明涉及生成聚酰亚胺的物料溶液，它含有：

A）    多元胺，和

B）    四羧酸酰胺或酯类或其酰胺和酯的混合物，该酰胺基或酯基带有的取代基选自羧基、磺基、甲硅烷基和甲硅烷氧基。

本发明还涉及该溶液作为涂料的应用和用聚酰亚胺涂布的制品。

生成聚酰亚胺的物料溶液的聚酰亚胺涂料的重要应用领域为微电子领域，该聚酰亚胺涂料被应用于微基片结构上的绝缘层，或者成品基片和基片外壳之间缓冲层。

对于聚酰亚胺层的主要要求是对作为基片的基础物质的良好粘结性，也就是对硅或改性硅薄片的粘结性。该问题目前已被解决，例如用氨基烷氧基硅烷等粘合促进剂对无机基质进行预处理，或者将粘合促进剂物料添加到涂料溶液中。

DE-A4107664叙述了含有氮杂环结构单元的缩聚物溶液，其中添加了作为粘合促进剂的叠氮基硅烷。

对于该聚酰亚胺涂层的再一要求是具有非常低的吸水性，以确保微基片甚至在潮湿环境下的功能。由于酰亚胺基是公知的亲水基团，人们已经尝试使用非常疏水性的聚酰亚胺来克服这一难点，例如使用具有非常大分子量的起始物料来降低聚合物中酰亚胺基的密度。

本发明也要求获得结构化聚酰亚胺涂层。为此，预先干燥聚酰亚胺层，接着用感光性树脂涂布。然后通过面罩进行成影像曝光，一般地再用稀释的含水碱溶液进行显影。结果，感光性树脂在曝光部分被除去。在下一步骤中，聚酰亚胺涂料也被从显影部分除去，在该方法中预先干燥的聚酰亚胺层被结构化了。为了在感光性树脂下用水溶性碱显影剂进行结构化，聚酰亚胺中间体必须预先干燥到不再被感光树脂或存在其中的溶剂浸蚀的程度。

然而，当特别地使用可被固化生成具有低吸水性聚酰亚胺的聚酰亚胺中间体时，在显影中会遇到一些问题，因为在预先充分干燥之后，所说的聚酰亚胺不能再被水性碱显影剂溶解。

本发明的目的是提供一种改进的聚酰亚胺涂料。

我们已经发现此目的是通过最初定义的生成聚酰亚胺的物料溶液来达到的。

用于本发明的技术上最重要的聚合杂环化合物是聚酰亚胺，但是其它的聚合杂环化合物，例如聚异吲哚基喹唑啉二酮或聚亚芳基苯并咪唑也包括在内。术语聚酰亚胺在下文中被用作所有含氮的聚合杂环化合物的同义词。

该溶液各组分叙述如下。

优选的多元胺组分A）为芳族和/或部分芳族多元胺、二元胺，特别优选芳族二元胺。

适用的二元胺例子有：

对-亚苯基二胺，

间-亚苯基二胺，

4，4′-二氨基二苯基氧化物，CAS101-80-4

3，3′-二氨基二苯基氧化物，

3，4′-二氨基二苯基氧化物，CAS2657-87-6

4，4′-二氨基二苯基硫化物，

3，3′-二氨基二苯基硫化物，

3，4′-二氨基二苯基硫化物，

4，4′-二氨基二苯基砜，CAS80-08-0

3，3′-二氨基二苯基砜，CAS599-61-1

3，4′-二氨基二苯基砜，

（4，4′-二氨基二苯基）-甲烷，

（3，3′-二氨基二苯基）-甲烷，

（3，4′-二氨基二苯基）-甲烷，

（4，4′-二氨基二苯基）-丙烷，

（3，3′-二氨基二苯基）-丙烷，

（3，4′-二氨基二苯基）-丙烷，

（4，4′-二氨基二苯基）-乙烷，

（3，3′-二氨基二苯基）-乙烷，

（3，4′-二氨基二苯基）-乙烷，

4，4′-双-（4，4′-氨基苯氧基）-联苯，CAS13080-85-8

4，4′-双-（4，3′-氨基苯氧基）-联苯，

2，2-双[4-（4-氨基苯氧基）苯基]-丙烷，CAS13080-86-9

2，2-双[4-（4-氨基苯氧基）苯基]-全氟丙烷，

2，2-双[4-（3-氨基苯氧基）苯基]-丙烷，

双[4-（4-氨基苯氧基）苯基]砜，CAS13080-89-2

双[4-（3，氨基苯氧基）苯基]砜，CAS30203-11-3

4，4′-二甲基-3，3′-二氨基二苯基砜，

双[4-（4-氨基苯氧基）苯基]硫化物，

双[4-（3-氨基苯氧基）苯基]硫化物，

双[4-（4-氨基苯氧基）苯基]甲烷，

双[4-（3-氨基苯氧基）苯基]甲烷，

1，4-双（4，4′-氨基苯氧基）-亚苯基，