[发明专利]用于监视的方法和装置以及标明状态的盘承载器无效
申请号: | 94117001.2 | 申请日: | 1994-09-30 |
公开(公告)号: | CN1066856C | 公开(公告)日: | 2001-06-06 |
发明(设计)人: | N·T·奇斯布劳;S·D·埃加姆;R·D·科斯;R·S·威廉斯 | 申请(专利权)人: | 氟器皿有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;B65D85/86;G11B5/84;G06K7/10 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 杜有文,王岳 |
地址: | 美国明*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 监视 方法 装置 以及 标明 状态 承载 | ||
1.一种盘承载器,包括:
(a)一个带有相对的壁的本体,这些壁具有面向内的、其尺寸适于以平行和轴向排列保持盘的槽,各个本体具有一个壁部分,该壁部分具有一个边缘,且一个长形凹槽从所述边缘向内延伸到该壁部分中;
(b)一个插入该长形凹槽中的无线电频率应答器,该应答器具有可由一个外部读取单元读取的唯一标志码;以及
(c)一个用于将该应答器密封包围在所述凹槽内的盖。
2.根据权利要求1的盘承载器,其中该应答器得到编程以接受一个外部写入单元提供的状态码。
3.根据权利要求2的盘承载器,其中该承载器具有一个下沿和从所述下沿延伸的长形凹槽。
4.根据权利要求1的盘承载器,其中壁部分具有一个用于在所述壁部分中容纳长形凹槽的突出部分。
5.根据权利要求4的盘承载器,其中长形凹槽与端壁平行。
6.一种用于监视通过多个站的盘批料的系统,该系统包括:
(a)多个盘承载器,每一个承载器都具有一个本体,该本体带有相对的壁且这些壁带有向内的、用于以平行且轴向的排列保持盘批料的槽,各个本体都具有一个平面壁部分,该壁部分具有一个沿着与所述平面壁部分基本平行的方向延伸的长形凹槽,一个插入到该长形凹槽中的长应答器,和一个用于把该应答器密封在所述凹槽中的盖;以及
(b)一个远程识别读取器,用于向各个应答器标志发出一个无线电频率脉冲并从各个应答器接收一个用于标明各个应答器和相应的批料的唯一的编码无线电频率信号。
7.根据权利要求6的系统,其中用于各个应答器的唯一标志码是可编程的,且该系统进一步包括一个具有适当结构和设置以用于对该应答器进行编程的写入单元。
8.用于对通过多个站的一批盘的进程进行监测和更新的方法,包括以下步骤:
(a)将该批盘插入到一个承载器中,该承载器具有适当的结构和设置以便以平行、轴向间隔排列的方式支撑盘;
(b)把一个可编程的应答器嵌在该承载器上,该应答器具有适当的结构和设置并进行编码以唯一地标明该承载器和插入在其中的批料;
(c)通过操作一个位于一个站附近的读取单元,检测该承载器在该站的出现,该读取单元具有适当的结构和设置以在其检测范围内读取一个应答器标志;以及
(d)通过更新和存储从读取单元接收的位置和处理信息,监测该盘批料通过处理站的进程。
9.根据权利要求8的方法,进一步包括通过把一个状态码插入到带有一个写入单元的可编程应答器中在一个具体的站对批料进行标明的步骤,该写入单元具有适当的结构和设置以对该应答器进行再编程。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造