[发明专利]超声波洗涤装置

权利要求书

1.一种超声波洗涤装置，它由盛有洗涤液的洗涤槽与设在该洗涤槽底部的超声波振动器构成，从该超声波振动器向上述洗涤液发射超声波而对浸在该洗涤液中的工作进行洗涤，其特征在于：上述洗涤液在溶氧量为0.01-2ppm状态下进行除气，并使该洗涤液的温度处于该洗涤液的凝固点以上30℃以下。

2.如权利要求1中所述的超声波洗涤装置，其特征在于上述洗涤槽设有把洗涤液供给到该洗涤槽中的洗涤液供给装置与从该洗涤槽中导出洗涤液的洗涤液导出装置，该洗涤液供给装置设置使该洗涤液在溶氧量为0.01-2ppmu状态下除气的除气装置及把洗涤液冷却到凝固点以上30℃以下的温度的冷却装置。

3.如权利要求1中所述的超声波洗涤装置，其特征在于，上述除气装置由导入上述洗涤液的密封槽及对该密封槽内进行减压的减压装置构成，通过把上述洗涤液的溶解气体释放到由该减压装置减压了的该密封槽内的空间中而进行除气。

4.如权利要求1中所述的超声波洗涤装置，其特征在于，设有把用上述洗涤液导出装置从上述洗涤槽中导出的洗涤液在上述洗涤液供给装置中进行循环的洗涤液循环通路。

5.如权利要求4中所述的超声波洗涤装置，其特征在于，上述洗涤槽设有上述洗涤液循环通路时，上述冷却装置设置测温装置，该冷却装置在由该测温装置测得的洗涤液温度超过规定的温度时开动。