[发明专利]衍射观察装置在审

专利信息
申请号: 94190877.1 申请日: 1994-11-01
公开(公告)号: CN1116453A 公开(公告)日: 1996-02-07
发明(设计)人: 格雷厄姆·迪尤尔;格雷姆·布洛克;达夫妮·弗林;史蒂文·马蒂纳佐;贝林达·斯特宁;彼得·塞缪尔·阿瑟顿 申请(专利权)人: 米高技术有限公司
主分类号: G06K7/10 分类号: G06K7/10;G06K19/16
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 代理人: 蹇炜
地址: 澳大利亚新*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 衍射 观察 装置
【权利要求书】:

1、一种帮助辩别一个光学表面的真伪的观察装置,该表面适于用一个入射光束来产生一个投影图像,上述装置包括:

一个基底;

一个安装在该基底上的激光光源,用来提供一个光束,并使该光束沿着预定的路径投射,上述激光光源用来照明上述光学表面,以产生一个衍射光束;

一个安装在上述基底上的成像面,用来接收来自上述光学表面的上述衍射光束,使得在上述成像面上接收到投射的图像;以及

一个沿上述路径放置的光学透镜系统,其布局使得,当沿着上述路径在上述光学表面的一个优选的位置上放置一个反射镜以把上述光束导向上述成像面时,上述光学透镜系统能把上述光束聚焦在上述成像面上。

2、根据权利要求1的装置,其中上述成像面由一个能透过光的图像接收元件组成,使得能够在上述元件上观察到上述图像。

3、根据权利要求2的装置,其中上述图像接收元件是磨砂的。

4、根据权利要求1、2或3的装置,其中上述图像接收元件带有一个对准部分,该部分用来被经过上述反射镜反射的上述光束照明,以帮助该装置的对准。

5、根据权利要求1的装置,它还包含一个沿上述路经安放的反射表面,使得上述路径由从上述光源到上述反射表面的第一部分和从上述反射表面到上述预定位置的第二部分组成,并且上述第一部分相对于上述第二部分是倾斜的。

6、根据权利要求5装置,其中上述第一部分相对于上述第二部分的倾斜角是一个锐角。

7、根据权利要求6装置,其中上述成像表面由一个图像接收元件组成,上述图像接收元件由可以透光的材料做成。

8、根据权利要求7的装置,其中上述图像接收元件是磨砂的。

9、根据权利要求3或8装置,其中上述装置是可以手持的。

10、根据要求1、2或3的装置,其中上述光学透镜系统可以在上述光学表面上产生一个光斑,该光斑具有预定的几何特性(大小、形状等)。

11、根据权利要求10的装置,其中上述特性和上述光学表面的几何性质有关。

12、一种观察装置,它本质上和这里前面参考附图图1至图3所说明的装置相同。

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