[发明专利]悬浮隔膜式压力传感器

权利要求书

1.一种压力传感器，包括：

第一隔膜组件带有沿一边框连接到一基片的一隔膜，该隔膜和基片彼此的中心分离开以在它们之间形成第一腔体；

用于向隔膜外表面施加加压液体的引入口器件；

设置在该隔膜上用于传感其偏移并提供一代表液体压力的输出的传感器件；

一安装块，包括一连接到边框的一薄片，该薄片使得该隔膜和基片的中心以及其余的边框免除进一步的硬固定。

2.权利要求1的压力传感器，其中该薄片包括用于传导该传感器输出的引线。

3.权利要求1的压力传感器，其中隔膜组件是由硅基材料形成的。

4.权利要求1的压力传感器，其中传感器件包括具有连接到隔膜的第一极板和连接到基片的第二极板的一个电容器。

5.权利要求1的压力传感器，其中隔膜和基片通过一间隔层沿该边框连接。

6.权利要求1的压力传感器，包括具有同第一腔体液体连通的第二腔体的一个第二隔膜组件，其中对于压差的响应是第一腔体的尺寸对于第二腔体尺寸相反地变化。

7.一种压差传感器，包括：

第一隔膜组件，具有沿一边框连接的隔膜和基片并且分离开在它们之间形成第一腔体；

第二隔膜组件，具有沿一边框连接的隔膜和基片并且分离开在它们之间形成第二腔体；

用于向第一隔膜组件的外表面施加液体的第一引入口器件；

用于向第二隔膜组件的外表面施加液体的第二引入口器件；

一个支撑结构，包括连接到第一隔膜组件的边框的第一薄片和连接到第二隔膜组件的边框的第二薄片，该第一和第二薄片连接在一起并与第一和第二腔体处于液体连通，从而第一腔体体积的变化与第二腔体体积的变化是反向相关的；以及

连接到第一隔膜组件上用于传感该隔膜偏移并提供一代表了液体压力的输出的传感器件。

8.权利要求7的压差传感器，其中该薄片包括传导该传感器输出的引线。

9.权利要求7的压差传感器，其中第一和第二隔膜组件是由硅基材料形成的。

10.权利要求7的压差传感器，其中传感器件包括具有连接到隔膜的第一极板和连接到基片的第二极板的一个电容器。

11.权利要求7的压差传感器，其中第一和第二隔膜组件的隔膜和基片通过一间隔层连接。

12.一种用于测量压力的装置，包括：

多个基本上是平面的基片，被粘结在一起形成一个三维结构；

由该多个基片形成对于压力响应的压力传感器；以及

一个外壳，围绕该压力传感器并由承受被测量的压力的多个基片所形成；

其中该压力传感器通过一薄片连接到该外壳。

13.权利要求12的装置，其中该压力传感器包括一个沿一边框与一基片连接的隔膜的隔膜组件，该隔膜和基片彼此分开在它们之间形成一腔体。

14.权利要求13的装置，其中隔膜组件除去一个支撑薄片以外是自由于外壳的，从而提供了应力隔离。

15.用于对生产过程的液体的压力进行测量的装置，包括：

由脆性的、抗腐蚀材料形成的一个传感器体，该传感器体响应生产过程的液体的压力；

一个支撑件；

一个传感元件，由该传感器体所携带响应该传感器体的形变；以及

一个延伸的应力隔离器伸展在支撑件和传感器体之间并由与传感器体相同材料形成，该隔离器包含用于携带连接到传感元件的电导体的一导管。

16.权利要求15的装置，其中支撑件是由传感器体相同的材料形成的。

17.权利要求15的装置，其中传感元件是一可变电容器。

18.权利要求15的装置，其中的支撑结构，传感器体和应力隔离器是由粘结在一起基本上是平面的基片形成的从而形成一三维结构。

19.权利要求15的装置，其中传感器体包括沿一边框粘结在一起的一个第一隔膜和一个第二隔膜并在它们之间形成一腔体。