[发明专利]屏蔽式电容传感器

权利要求书

1.一种检测电路，包括：

一个可变的测试电容器，具有第一和第二块电容极板，两极板间的电容量作为被检测参数的函数变化，每个电容极板都有相应于保护板的寄生电容，这些保护板布设在第一和第二块电容极板周围；

一个参考电压源；

一个驱动电路给第一块电容极板提供一个相对于参考电位交替变化的驱动电压；

一个连接到参考电位的检测电路，并产生一个大致上等于参考电位的虚拟参考电位；

连接到第二块电容极板的开关电路，它交替地将第二块电容板连接到参考电位和虚拟参考电位上，使得在第二块电容板与保护板之间基本上没有电位差。

2.权利要求1的检测电路，其中保护板是由半导体材料做成的。

3.权利要求1的检测电路，其中虚拟参考电位是一个具有通过积分电容器负反馈的运算放大器。

4.权利要求1的检测电路，其中被检测参数是压力。

5.一种用于以压力函数的形式提供压力测试输出的压力测试电路，它包括：

一个具有一块驱动极板和一块检测极板的检测电容，板间电容量的作为压力的函数变化；

一个在检测极板和寄生电容极板之间的寄生电容；

一个连接到寄生电容极板的参考电位；

虚拟参考电路耦合到参考电位，它具有一个大致上等于参考电位的虚拟参考电位输出，输出与检测电容器的电容量相关；

连接到检测极板的电荷检测电路，检测在检测极板上的电荷，并保持检测极板大体上与寄生电容极板同样的电位上，因此，寄生电容实质上从测试电容的测试量中消除了寄生电容；以及

根据检测到的电荷提供压力测量输出的输出电路。

6.权利要求5的压力测试电路，其中寄生电容极板是由半导体材料做成的。

7.权利要求5的压力测试电路，其中虚拟参考电位是一个具有通过积分电容器负反馈的运算放大器。